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[發(fā)明專利]一種陣列基板、顯示裝置及陣列基板的制備方法有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201210530472.9 申請(qǐng)日: 2012-12-10
公開(kāi)(公告)號(hào): CN103022083A 公開(kāi)(公告)日: 2013-04-03
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 徐利燕;張春兵 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;北京京東方顯示技術(shù)有限公司
主分類號(hào): H01L29/04 分類號(hào): H01L29/04;H01L29/786;H01L21/336;H01L27/32;H01L51/56
代理公司: 北京同達(dá)信恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291 代理人: 杜秀科
地址: 100015 *** 國(guó)省代碼: 北京;11
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 陣列 顯示裝置 制備 方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種陣列基板,包括薄膜晶體管器件,所述薄膜晶體管包括半導(dǎo)體有源層,其特征在于,所述薄膜晶體管器件的半導(dǎo)體有源層的材質(zhì)為微晶硅。

2.如權(quán)利要求1所述的陣列基板,其特征在于,所述薄膜晶體管器件的源漏電極的材質(zhì)為銅鉬合金。

3.如權(quán)利要求2所述的陣列基板,其特征在于,所述薄膜晶體管器件的半導(dǎo)體有源層和源漏電極之間設(shè)置有歐姆接觸層,所述歐姆接觸層的材質(zhì)為摻雜微晶硅。

4.如權(quán)利要求1所述的陣列基板,其特征在于,所述薄膜晶體管器件的柵電極的材質(zhì)為銅。

5.如權(quán)利要求1所述的陣列基板,其特征在于,所述陣列基板還包括與漏電極電連接的像素電極,所述像素電極材質(zhì)為氧化銦錫或銦鎵鋅氧化物。

6.一種顯示裝置,其特征在于,包括如權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的陣列基板。

7.一種陣列基板的制備方法,其特征在于,所述方法包括以下步驟:

在半導(dǎo)體有源層上形成源漏金屬層,所述源漏金屬層的材質(zhì)為銅鉬合金;

在源漏金屬層上形成金屬鉬層;

對(duì)基板進(jìn)行激光退火;

激光退火后,去除金屬鉬層,采用構(gòu)圖工藝形成源漏電極。

8.如權(quán)利要求7所述陣列基板的制備方法,其特征在于,所述在半導(dǎo)體有源層上形成源漏金屬層,具體為:

采用磁控濺射在半導(dǎo)體有源層上形成源漏金屬層。

9.如權(quán)利要求7所述陣列基板的制備方法,其特征在于,所述在半導(dǎo)體有源層上形成源漏金屬層之前還包括:

在襯底基板上形成柵電極;

在形成柵電極的基板上形成覆蓋柵電極和基板的柵絕緣層;

在形成柵絕緣層的基板上形成位于柵電極上方的半導(dǎo)體有源層,以及位于半導(dǎo)體有源層之上的歐姆接觸層。

10.如權(quán)利要求7所述陣列基板的制備方法,其特征在于,采用構(gòu)圖工藝形成源漏電極之后還包括:

形成位于源漏電極之上并覆蓋基板的鈍化層;

形成位于鈍化層之上且與漏電極電連接的像素電極。

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