[發(fā)明專利]探測板組的膠合方法和夾具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210529903.X
• 申請日: 2012-12-11
• 公開（公告）號: CN102981374A
• 公開（公告）日: 2013-03-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃克飛;魏向榮;顧亞平
• 申請（專利權(quán)）人: 上?，F(xiàn)代先進(jìn)超精密制造中心有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純

1.一種用于分步投影光刻機(jī)的探測板組的膠合方法，其特征在于，該方法包括下列步驟：

①建立超凈工作室和超凈工作臺，室內(nèi)溫度為20～26℃±0.1℃，濕度為50～70%標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下超凈工作臺上進(jìn)行探測板保護(hù)膜和探測板組的膠合工作；

②在超凈工作臺，工作人員帶上防靜電手套和口罩,?用防靜電光學(xué)玻璃擦拭布蘸上酒精對基準(zhǔn)板保護(hù)玻璃（6）進(jìn)行擦拭，在擦拭過程中把鍍膜探側(cè)基準(zhǔn)板（7）和基準(zhǔn)板保護(hù)玻璃（6）放在100w的燈光下仔細(xì)觀看表面灰塵，直到無人眼可見灰塵，把鍍膜探側(cè)基準(zhǔn)板（7）和擦拭好的基準(zhǔn)板保護(hù)玻璃（6）放在玻璃器皿中，防止再次污染；

③從所述的玻璃器皿中取出鍍膜探側(cè)基準(zhǔn)板（7）水平放到工作臺面上，鍍膜探側(cè)基準(zhǔn)板（7）的鍍膜面向上，將保護(hù)膜（8）貼到鍍膜探側(cè)基準(zhǔn)板（7）的鍍膜面上，眼睛觀察，如沒有氣泡，則為合格，如有氣泡，則重新再貼，直到合格為止；用刀片按照鍍膜探側(cè)基準(zhǔn)板（7）的尺寸大小切去多余保護(hù)膜；?

④從玻璃器皿中取出基準(zhǔn)板保護(hù)玻璃（6）水平放到探測板膠合夾具的基準(zhǔn)板（5）上，使基準(zhǔn)板保護(hù)玻璃（6）的兩側(cè)側(cè)邊緊靠探測板組膠合夾具的兩個側(cè)基準(zhǔn)邊（1），基準(zhǔn)板保護(hù)玻璃（6）的另外兩側(cè)側(cè)邊用彈性壓塊（4）壓緊；

⑤將步棸③中貼好保護(hù)膜的鍍膜探測基準(zhǔn)板（7）水平放到基準(zhǔn)板保護(hù)玻璃（6）的中間位置，使貼有保護(hù)膜的一面向下；鍍膜探測基準(zhǔn)板（7）的兩側(cè)邊緊靠探測板組膠合夾具的上檔塊（2），鍍膜探測基準(zhǔn)板（7）的另外兩側(cè)邊用彈性壓塊（4）壓緊；

⑥在鍍膜探測基準(zhǔn)板（7）上方水平放置配重塊（3），均勻施加5～8kg重力，用雙組合環(huán)氧樹脂膠對鍍膜探測基準(zhǔn)板（7）與基準(zhǔn)板保護(hù)玻璃（6）接觸的四周邊進(jìn)行膠合處理，使膠體的寬度和高度控制在1.5～3mm之間，持續(xù)放置20～24小時，形成探測板組。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于分步投影光刻機(jī)的探測板組的膠合方法，其特征在于，所述的膠合處理是將雙組合環(huán)氧樹脂膠裝在雙管膠搶上，打開膠筒出口保護(hù)蓋，在膠筒出口安裝混膠頭，搬動雙管膠搶沿所述的四周邊連續(xù)均勻涂膠，混膠頭流出膠量2～3g。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于分步投影光刻機(jī)的探測板組的膠合方法，其特征在于，該方法還包括步驟：

⑦取下配重塊（3），檢查環(huán)氧樹脂膠沿鍍膜探測基準(zhǔn)板（7）下鍍膜面間隙侵入量為1～3mm；對侵入量小于1mm是進(jìn)行補(bǔ)膠；對侵入量大于3mm，進(jìn)行去除處理后，返回到步驟②；

⑧將探測板組侵入水中檢查膠合漏水情況，如膠合面有水的滲漏點，對滲漏點再次進(jìn)行膠合處理；

⑨探測板組補(bǔ)充膠合

用防靜電光學(xué)玻璃擦拭布蘸上酒精擦干凈膠合處，混膠頭對準(zhǔn)探測板組膠合處，搬動雙管膠搶沿膠合四周邊連續(xù)均勻涂補(bǔ)膠，膠體的寬度和高度控制在2.5～3.5mm之間，水平放置20～24小時；?

⑩探測板組加固膠合

混膠頭對準(zhǔn)探測板組膠合處，搬動雙管膠搶沿膠合四周邊連續(xù)均勻涂補(bǔ)膠，使膠體的寬度和高度控制在4～5mm之間，水平放置24～26小時，獲得加固探測板組；

⑾用三坐標(biāo)測量儀測量步驟⑩加固探測板組的上下面平行度、面形是否符合規(guī)定；

⑿對符合規(guī)定的加固探側(cè)板組進(jìn)行包裝，然后放在恒溫箱內(nèi)五天以上，使其完全固化后待用。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于分步投影光刻機(jī)的探測板組的膠合方法，其特征在于，所述的將探測板組侵入水中檢查膠合漏水情況具體是：

將探測板組侵入水1分鐘，取出觀察膠合面有無水的滲漏點，如發(fā)現(xiàn)有水的滲漏點時，對滲漏點再次進(jìn)行膠合處理；

將探測板組侵入水10分鐘，取出觀察膠合面有無水的滲漏點，如發(fā)現(xiàn)有水的滲漏點時，對滲漏點再次進(jìn)行膠合處理；

將探測板組侵入水1小時，取出觀察膠合面有無水的滲漏點，如發(fā)現(xiàn)有水的滲漏點時，對滲漏點再次進(jìn)行膠合處理；

將探測板組侵入水3小時，取出觀察膠合面有無水的滲漏點，如發(fā)現(xiàn)有水的滲漏點時，對滲漏點再次進(jìn)行膠合處理；

將探測板組侵入水10小時，取出觀察膠合面有無水的滲漏點，如發(fā)現(xiàn)有水的滲漏點時，對滲漏點再次進(jìn)行膠合處理；

將探測板組侵入水20～24小時，取出觀察膠合面有無水的滲漏點，如發(fā)現(xiàn)有水的滲漏點時，對滲漏點再次進(jìn)行膠合處理；

將探測板組侵入水120～150小時，取出觀察膠合面有無水的滲漏點，如發(fā)現(xiàn)有水的滲漏點時，對滲漏點再次進(jìn)行膠合處理。