[發(fā)明專利]劃線裝置的刀片架安裝結(jié)構(gòu)體

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210529698.7
• 申請日: 2006-12-01
• 公開（公告）號: CN102976602A
• 公開（公告）日: 2013-03-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 山本正男;田端淳
• 申請（專利權(quán)）人: 三星鉆石工業(yè)股份有限公司
• 主分類號: C03B33/027
• 分類號: C03B33/027
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進委員會專利商標事務(wù)所 11038
• 代理人: 何騰云

本發(fā)明專利申請是申請?zhí)枮?00680026761.8（國際申請?zhí)枮镻CT/JP2006/324058）、申請日為2006年12月01日、發(fā)明名稱為“劃線裝置、劃線方法及刀片架”的發(fā)明專利申請的分案申請。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于在脆性材料基板上形成劃線線條的劃線裝置、劃線方法及其所使用的刀片架，特別涉及在保持劃線線條形成用的滾輪刀片（劃線滾輪）的刀片架上具有特征的劃線裝置、劃線方法及刀片架。

背景技術(shù)

以往，在液晶顯示面板或液晶投影器基板等平板顯示器等中，在制造過程中，素玻璃基板在粘合后被截斷，形成規(guī)定大小的單個的面板。在截斷該素玻璃基板等脆性材料基板時，有劃線工序和斷開工序，在劃線工序中使用劃線裝置。

圖1是表示現(xiàn)有的劃線裝置的一例的概略立體圖。該劃線裝置100中的移動臺101沿一對導軌102a、102b在y軸方向移動自由地被保持。滾珠絲杠103與移動臺101螺紋接合。滾珠絲杠103由馬達104驅(qū)動而旋轉(zhuǎn)，使移動臺101沿導軌102a、102b在y軸方向移動。在移動臺101的上面設(shè)有馬達105。馬達105使工作臺106在xy平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)，按規(guī)定角度定位。脆性材料基板107放置在該工作臺106上，由沒有圖示的真空吸引機構(gòu)等保持。在劃線裝置的上部設(shè)有拍攝脆性材料基板107的對位標記的兩臺CCD照相機108。

在劃線裝置100中，按跨過移動臺101和其上部的工作臺106的方式，沿x軸方向利用支柱111a、111b架設(shè)橋構(gòu)件110。劃線頭112能沿設(shè)在橋構(gòu)件110上的導向件113在x軸方向移動。馬達114是使劃線頭112沿x軸方向移動的驅(qū)動源。在劃線頭112的前端部，經(jīng)由架接頭120而安裝有刀片架130。

下面對安裝在劃線頭112上的現(xiàn)有的架接頭和刀片架進行說明。如圖2所示的分解立體圖那樣，架接頭120在上部具有軸承121，下方具有構(gòu)成為L字形的架部122。在架部122的側(cè)方設(shè)有定位用的銷123。刀片架130如圖3、圖4所示是可轉(zhuǎn)動地保持圓板狀的滾輪刀片（以下簡稱為刀片）131的部件。刀片131利用銷（未作圖示）旋轉(zhuǎn)自由地保持在下端中央的前端部，銷由擋塊132防止脫落。刀片131一邊與脆性材料基板壓接一邊滾動，形成劃線線條。該刀片架130通過使其側(cè)面與定位銷123接觸，定位在架接頭120的架部122。而且，刀片架130由固定螺栓133固定在架部122上。劃線頭112可升降移動地保持其下部的架接頭120以及刀片架130。在劃線頭112上設(shè)有在其內(nèi)部可以進行這樣的升降動作的升降部，例如使用氣壓控制的氣缸或由線性馬達等驅(qū)動的電動升降部等。該升降部一邊以適當?shù)妮d荷使刀片131壓接在脆性材料基板的表面上，一邊使刀片131滾動，形成劃線線條。

其次，對在作為劃線裝置組裝后，對劃線動作所需的電以及機械方面的調(diào)整結(jié)束了的劃線裝置的劃線動作進行說明。圖5A、圖5B是表示該處理順序的流程圖。在劃線開始前，如圖6所示，首先把脆性材料基板107放置在工作臺106上，在定位后進行吸引固定（步驟S0）。之后，為了確認定位狀況，使用設(shè)在劃線裝置上方的兩臺CCD照相機108，分別放大攝像基板上的左右兩處的定位用的對位標記63a及63b，進行圖像處理（步驟S1）。由于攝像后的放大圖像在各自對應(yīng)的監(jiān)視器上顯示，所以，操作人員可以一邊確認其攝制的圖像一邊進行精確的定位作業(yè)。劃線裝置100通過圖像處理，檢測基板107從連接兩臺CCD照相機的線、即工作臺106的基準線A傾斜多少角度（θ）放置，或者基板107從作為工作臺106的基準的原點位置偏離多少放置（步驟S2）。根據(jù)其檢測結(jié)果，劃線裝置100進入步驟S3，通過馬達105的轉(zhuǎn)動進行修正，使工作臺106的傾斜角θ變成0。從工作臺106的原點位置的偏離可以進行以下修正。關(guān)于y軸方向，使工作臺106在y軸方向上移動與上述偏離量的y軸方向成分相當?shù)牧浚硗猓P(guān)于x軸方向使劃線頭112的位置移動與上述偏離量的x軸成分相當?shù)牧俊Ａ硗猓鳛槠渌男拚椒ǎ€有下述的方法。即，劃線裝置把上述偏離量分成x軸成分和y軸成分，通過修正劃線動作開始位置的位置數(shù)據(jù)的各軸成分的值，使劃線開始位置移動。若這樣作也可以得到相同的結(jié)果。

在更換劃線對象的基板時，每次必定需要在劃線開始前實行上述偏離量的修正作業(yè)。只要修正作業(yè)結(jié)束，就從所希望的位置開始劃線動作。劃線裝置100使刀片架下降，使刀片一邊與基板接觸一邊滾動，進行通常劃線（步驟S5～S7）。之后，在該劃線線條的形成之后，劃線裝置100使刀片架上升（步驟S8），接著，使基板相對移動（步驟S9），返回至S5。