[發明專利]一種厚度測量裝置和厚度測量方法有效
| 申請號： | 201210528211.3 | 申請日： | 2012-12-10 |
| 公開（公告）號： | CN103868461B | 公開（公告）日： | 2018-06-05 |
| 發明（設計）人： | 蔡道炎;王進東;敖學如;饒曉雷;胡伯平 | 申請（專利權）人： | 北京中科三環高技術股份有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/06 | 分類號： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京航忱知識產權代理事務所(普通合伙) 11377 | 代理人： | 陳立航;郭麗 |
| 地址： | 100190 北京市海淀區中*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 被測樣品 厚度測量裝置 厚度測量 激光探頭 上部支架 下部支架 測量 支架 厚度分布數據 柔性粘結磁體 測量探頭 方向交叉 方向移動 壓力接觸 測量臺 移動部 平整 | ||
【權利要求書】：
1.一種柔性粘接磁體厚度測量裝置，包括：
支架，包括上部支架和下部支架；
一對激光探頭，分別位于所述上部支架和所述下部支架；
測量臺，安裝到所述支架；以及
移動部，用于使被測樣品相對于所述一對激光探頭沿第一方向和與所述第一方向交叉的第二方向移動，
所述移動部包括：
測量臺移動部，用于使所述測量臺沿所述第一方向移動；以及
樣品移動部，用于使被測樣品在所述測量臺上沿所述第二方向移動，
所述測量臺移動部和所述樣品移動部采用絲杠絲母結構或帶輪傳動機構，
所述樣品移動部包括樣品推板，用于沿所述第二方向移動，以推動被測樣品沿所述第二方向移動，
所述測量臺呈平板狀，具有在上下方向上貫穿所述測量臺的縫隙，
所述柔性粘接磁體厚度測量裝置還包括施壓構件，用于向著所述測量臺對被測樣品施壓，
所述施壓構件包括偏心輪和與所述偏心輪的外周相接觸的一對壓片，
所述一對壓片相對于所述縫隙分別位于沿所述第二方向的上游側和下游側。
2.根據權利要求1所述的柔性粘接磁體厚度測量裝置，其特征在于，所述縫隙平行于所述第一方向。
3.一種厚度測量方法，使用根據權利要求1或2所述的柔性粘接磁體厚度測量裝置，一邊通過所述移動部使被測樣品沿所述第一方向和/或所述第二方向移動，一邊通過所述一對激光探頭測量被測樣品的厚度。
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