[發(fā)明專利]一種TiB2/Si-Al電子封裝復(fù)合材料及制備方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201210527903.6 | 申請(qǐng)日: | 2012-12-10 |
| 公開(公告)號(hào): | CN103045926A | 公開(公告)日: | 2013-04-17 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 楊濱;盧毅;張磊;王西濤 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 北京科技大學(xué) |
| 主分類號(hào): | C22C29/18 | 分類號(hào): | C22C29/18;C22C1/02 |
| 代理公司: | 北京金智普華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11401 | 代理人: | 皋吉甫 |
| 地址: | 100083*** | 國(guó)省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 tib sub si al 電子 封裝 復(fù)合材料 制備 方法 | ||
1.一種TiB2/Si-Al電子封裝復(fù)合材料,其特征在于:該復(fù)合材料的化學(xué)組成以重量百分比計(jì)為xTiB2/ySi-Al,其中1.0≤x≤2.0,60≤y≤70。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種TiB2/Si-Al電子封裝復(fù)合材料的制備方法,其特征在于:工藝過(guò)程包括配制混合鹽、熔煉(60~70)wt%Si-Al合金、熔鑄-原位合成TiB2顆粒、噴射沉積成形TiB2/Si-Al復(fù)合材料和TiB2/Si-Al復(fù)合材料熱等靜壓五個(gè)階段;具體制備步驟為:
a、配制混合鹽:按原子計(jì)量比Ti:B=1:2.2配比K2TiF6和KBF4混合鹽,混勻并經(jīng)300℃烘干;
b、熔煉(60~70)wt%Si-Al合金:將占(60~70)wt%的純Si,其余為工業(yè)純Al的原材料放入中頻感應(yīng)電爐中升溫熔化;
c、熔鑄-原位合成TiB2顆粒:將步驟b所述(60~70)wt%Si-Al合金熔體加熱至熔點(diǎn)以上50~150℃保溫5-15分鐘使其均勻化;然后,迅速加入0.8--2.5%步驟a所述的K2TiF6和KBF4混合鹽,用石墨攪拌器充分?jǐn)嚢?~15分鐘后再保溫15分鐘,扒除表面殘?jiān)?/p>
d、噴射沉積成形TiB2/Si-Al復(fù)合材料:利用噴射沉積成形技術(shù)制備TiB2/Si-Al復(fù)合材料,噴射成形工藝參數(shù)選擇如下:霧化氣體:氮?dú)饣驓鍤?,純度分別為:99.8和99.9%;霧化壓力:0.6~0.8MPa;沉積距離:610~650mm;導(dǎo)流管直徑:4.0~4.3mm;
e、TiB2/Si-Al復(fù)合材料熱等靜壓:噴射成形TiB2/Si-Al復(fù)合材料的致密化在QIH-15型熱等靜壓試驗(yàn)機(jī)上進(jìn)行;熱等靜壓工藝參數(shù)選擇如下:壓強(qiáng)150~170MPa,溫度580~620℃,保壓4h,工作介質(zhì)為氬氣。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的所述的一種TiB2/Si-Al電子封裝復(fù)合材料的制備方法,其特征在于:所述K2TiF6和KBF4的純度均高于97wt%;純Si和工業(yè)純Al均為塊狀物,純度分別為98wt%和99.7wt%,塊度為4~6mm。
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