[發(fā)明專利]刀片架

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210527748.8
• 申請(qǐng)日: 2006-12-01
• 公開（公告）號(hào): CN102975298A
• 公開（公告）日: 2013-03-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 山本正男;田端淳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星鉆石工業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): B28D1/24
• 分類號(hào): B28D1/24;C03B33/027
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 何騰云

本發(fā)明專利申請(qǐng)是申請(qǐng)?zhí)枮?00680026761.8（國際申請(qǐng)?zhí)枮镻CT/JP2006/324058）、申請(qǐng)日為2006年12月01日、發(fā)明名稱為“劃線裝置、劃線方法及刀片架”的發(fā)明專利申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于在脆性材料基板上形成劃線線條的劃線裝置、劃線方法及其所使用的刀片架，特別涉及在保持劃線線條形成用的滾輪刀片（劃線滾輪）的刀片架上具有特征的劃線裝置、劃線方法及刀片架。

背景技術(shù)

以往，在液晶顯示面板或液晶投影器基板等平板顯示器等中，在制造過程中，素玻璃基板在粘合后被截?cái)?，形成?guī)定大小的單個(gè)的面板。在截?cái)嘣撍夭ＡЩ宓却嘈圆牧匣鍟r(shí)，有劃線工序和斷開工序，在劃線工序中使用劃線裝置。

圖1是表示現(xiàn)有的劃線裝置的一例的概略立體圖。該劃線裝置100中的移動(dòng)臺(tái)101沿一對(duì)導(dǎo)軌102a、102b在y軸方向移動(dòng)自由地被保持。滾珠絲杠103與移動(dòng)臺(tái)101螺紋接合。滾珠絲杠103由馬達(dá)104驅(qū)動(dòng)而旋轉(zhuǎn)，使移動(dòng)臺(tái)101沿導(dǎo)軌102a、102b在y軸方向移動(dòng)。在移動(dòng)臺(tái)101的上面設(shè)有馬達(dá)105。馬達(dá)105使工作臺(tái)106在xy平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)，按規(guī)定角度定位。脆性材料基板107放置在該工作臺(tái)106上，由沒有圖示的真空吸引機(jī)構(gòu)等保持。在劃線裝置的上部設(shè)有拍攝脆性材料基板107的對(duì)位標(biāo)記的兩臺(tái)CCD照相機(jī)108。

在劃線裝置100中，按跨過移動(dòng)臺(tái)101和其上部的工作臺(tái)106的方式，沿x軸方向利用支柱111a、111b架設(shè)橋構(gòu)件110。劃線頭112能沿設(shè)在橋構(gòu)件110上的導(dǎo)向件113在x軸方向移動(dòng)。馬達(dá)114是使劃線頭112沿x軸方向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)源。在劃線頭112的前端部，經(jīng)由架接頭120而安裝有刀片架130。

下面對(duì)安裝在劃線頭112上的現(xiàn)有的架接頭和刀片架進(jìn)行說明。如圖2所示的分解立體圖那樣，架接頭120在上部具有軸承121，下方具有構(gòu)成為L(zhǎng)字形的架部122。在架部122的側(cè)方設(shè)有定位用的銷123。刀片架130如圖3、圖4所示是可轉(zhuǎn)動(dòng)地保持圓板狀的滾輪刀片（以下簡(jiǎn)稱為刀片）131的部件。刀片131利用銷（未作圖示）旋轉(zhuǎn)自由地保持在下端中央的前端部，銷由擋塊132防止脫落。刀片131一邊與脆性材料基板壓接一邊滾動(dòng)，形成劃線線條。該刀片架130通過使其側(cè)面與定位銷123接觸，定位在架接頭120的架部122。而且，刀片架130由固定螺栓133固定在架部122上。劃線頭112可升降移動(dòng)地保持其下部的架接頭120以及刀片架130。在劃線頭112上設(shè)有在其內(nèi)部可以進(jìn)行這樣的升降動(dòng)作的升降部，例如使用氣壓控制的氣缸或由線性馬達(dá)等驅(qū)動(dòng)的電動(dòng)升降部等。該升降部一邊以適當(dāng)?shù)妮d荷使刀片131壓接在脆性材料基板的表面上，一邊使刀片131滾動(dòng)，形成劃線線條。

其次，對(duì)在作為劃線裝置組裝后，對(duì)劃線動(dòng)作所需的電以及機(jī)械方面的調(diào)整結(jié)束了的劃線裝置的劃線動(dòng)作進(jìn)行說明。圖5A、圖5B是表示該處理順序的流程圖。在劃線開始前，如圖6所示，首先把脆性材料基板107放置在工作臺(tái)106上，在定位后進(jìn)行吸引固定（步驟S0）。之后，為了確認(rèn)定位狀況，使用設(shè)在劃線裝置上方的兩臺(tái)CCD照相機(jī)108，分別放大攝像基板上的左右兩處的定位用的對(duì)位標(biāo)記63a及63b，進(jìn)行圖像處理（步驟S1）。由于攝像后的放大圖像在各自對(duì)應(yīng)的監(jiān)視器上顯示，所以，操作人員可以一邊確認(rèn)其攝制的圖像一邊進(jìn)行精確的定位作業(yè)。劃線裝置100通過圖像處理，檢測(cè)基板107從連接兩臺(tái)CCD照相機(jī)的線、即工作臺(tái)106的基準(zhǔn)線A傾斜多少角度（θ）放置，或者基板107從作為工作臺(tái)106的基準(zhǔn)的原點(diǎn)位置偏離多少放置（步驟S2）。根據(jù)其檢測(cè)結(jié)果，劃線裝置100進(jìn)入步驟S3，通過馬達(dá)105的轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)行修正，使工作臺(tái)106的傾斜角θ變成0。從工作臺(tái)106的原點(diǎn)位置的偏離可以進(jìn)行以下修正。關(guān)于y軸方向，使工作臺(tái)106在y軸方向上移動(dòng)與上述偏離量的y軸方向成分相當(dāng)?shù)牧浚硗猓P(guān)于x軸方向使劃線頭112的位置移動(dòng)與上述偏離量的x軸成分相當(dāng)?shù)牧?。另外，作為其它的修正方法，還有下述的方法。即，劃線裝置把上述偏離量分成x軸成分和y軸成分，通過修正劃線動(dòng)作開始位置的位置數(shù)據(jù)的各軸成分的值，使劃線開始位置移動(dòng)。若這樣作也可以得到相同的結(jié)果。

在更換劃線對(duì)象的基板時(shí)，每次必定需要在劃線開始前實(shí)行上述偏離量的修正作業(yè)。只要修正作業(yè)結(jié)束，就從所希望的位置開始劃線動(dòng)作。劃線裝置100使刀片架下降，使刀片一邊與基板接觸一邊滾動(dòng)，進(jìn)行通常劃線（步驟S5～S7）。之后，在該劃線線條的形成之后，劃線裝置100使刀片架上升（步驟S8），接著，使基板相對(duì)移動(dòng)（步驟S9），返回至S5。