[發明專利]存儲單元陣列版圖數據中的通孔的替換方法及系統

有效

• 申請號: 201210525608.7
• 申請日: 2012-12-07
• 公開（公告）號: CN103870611A
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發明（設計）人: 張興洲;倪凌云;孫長江
• 申請（專利權）人: 上海華虹宏力半導體制造有限公司
• 主分類號: G06F17/50
• 分類號: G06F17/50
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 王江富

技術領域

本發明涉及一種半導體物理版圖數據處理技術，特別涉及一種存儲單元陣列版圖數據中的通孔的替換方法及系統。

背景技術

存儲單元陣列版圖數據，基于不同的半導體工藝要求，經常需要對通孔單位尺寸進行更改，例如存儲單元陣列版圖數據中原有的通孔單位尺寸為0.8mμm*0.8μm，而當前半導體工藝要求的通孔單位尺寸為0.28mμm*0.28μm，此時就需要將存儲單元陣列版圖數據中的通孔單位尺寸更改為0.28mμm*0.28μm，如圖1所示。存儲單元陣列的各存儲單元分布在多個版圖階層中，存儲單元陣列相鄰兩個存儲單元間的整個通孔是由兩個1/2通孔拼接而成的，每個1/2通孔由其四個角的坐標定位，組成相鄰兩個存儲單元間的整體通孔的兩個1/2通孔之間，有兩個角的坐標是相同的。

存儲單元陣列的相鄰兩個存儲單元，有時不在同一版圖階層。相鄰兩個存儲單元在同一版圖階層時，相鄰兩個存儲單元間的通孔通過常規的查找方法即可定位，能夠全部、準確的替換通孔；但是當相鄰兩個存儲單元不在同一版圖階層時，由于整個通孔的二分之一位于一個版圖階層，整個通孔的另二分之一位于另一個版圖階層，兩個存儲單元間的通孔的定位就比較困難?，F有的做法是利用版圖工具如Virtuoso，目視查找這些不在同一版圖階層的相鄰兩個存儲單元間的整個通孔，然后進行通孔替換，由于存儲單元陣列版圖數據中的相鄰兩個存儲單元間的通孔數量極大（可達3萬多個）這既需要花費大量的時間，又存在著巨大的風險，萬一有個別的通孔數據替換錯誤，將會導致通孔丟失，電路失效等重大問題。

發明內容

本發明要解決的技術問題是對需要處理的存儲單元陣列版圖數據中的不在同一版圖階層的存儲單元間的完整通孔，進行全部、準確、快速的定位替換。

為解決上述技術問題，本發明提供的存儲單元陣列版圖數據中的通孔的替換方法，包括以下步驟:

一.建立一個數據序列，并將其清零；i=1；

二.對需要處理的存儲單元陣列版圖數據進行解析，將需要處理的存儲單元陣列版圖數據中的各存儲單元按讀取的先后順序建立存儲單元鏈表,并記錄各存儲單元鄰接的各二分之一通孔的四個角的坐標，需要處理的存儲單元陣列版圖數據中的存儲單元個數為N；

三.將所述存儲單元鏈表中的第i個存儲單元的各個二分之一通孔的四個角的坐標，分別同所述數據序列中已有的各個存儲單元的各個二分之一通孔的四個角的坐標進行比較，如果有兩個角的坐標相同，則將所述數據序列中已有的該個存儲單元的該個二分之一通孔同第i個存儲單元的該個二分之一通孔組成一個待替換完整通孔，并將所述數據序列中已有的該個存儲單元的該個二分之一通孔的四個角的坐標數據清除；否則，將第i個存儲單元的該個二分之一通孔的四個角的坐標添加到所述數據序列；

四.i自增1；如果i小于等于N，則進行步驟三，否則進行步驟五；

五.將組成的各個待替換完整通孔進行替換，將數據序列清零。

為解決上述技術問題，本發明提供的存儲單元陣列版圖數據中的通孔的替換系統，包括一存儲單元陣列版圖數據解析模塊、一數據序列模塊、一匹配處理模塊、一完整通孔替換模塊；

所述存儲單元陣列版圖數據解析模塊，用于對需要處理的存儲單元陣列版圖數據進行解析，將需要處理的存儲單元陣列版圖數據中的各存儲單元按讀取的先后順序建立存儲單元鏈表,并記錄各存儲單元鄰接的各二分之一通孔的四個角的坐標，記錄需要處理的存儲單元陣列版圖數據中的存儲單元個數；

所述數據序列模塊，用于存放數據序列，初始狀態為清零；

所述匹配處理模塊，工作過程如下：

一.i=1；

二.將所述存儲單元鏈表中的第i個存儲單元的各個二分之一通孔的四個角的坐標，依序分別同所述數據序列中已有的各個存儲單元的各個二分之一通孔的四個角的坐標進行比較，如果有兩個角的坐標相同，則將所述數據序列中已有的該個存儲單元的該個二分之一通孔同第i個存儲單元的該個二分之一通孔組成一個待替換完整通孔，并將所述數據序列中已有的該個存儲單元的該個二分之一通孔的四個角的坐標數據清除；否則，將第i個存儲單元的該個二分之一通孔的四個角的坐標添加到所述數據序列；

三.i自增1；如果i小于等于N，則進行步驟三，否則進行步驟四；N為需要處理的存儲單元陣列版圖數據中的存儲單元個數；

四.將數據序列清零；

所述完整通孔替換模塊，用于將所述匹配處理模塊組成的待替換完整通孔進行替換。