[發明專利]一種測量雙極性器件峰值結溫分布的方法在審
| 申請號： | 201210525358.7 | 申請日： | 2012-12-07 |
| 公開（公告）號： | CN103868612A | 公開（公告）日： | 2014-06-18 |
| 發明（設計）人： | 朱陽軍;董少華;王任卿;陸江 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | G01K7/00 | 分類號： | G01K7/00 |
| 代理公司： | 北京華沛德權律師事務所 11302 | 代理人： | 劉麗君 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 測量 極性 器件 峰值 分布 方法 | ||
1.一種測量雙極性器件峰值結溫分布的方法，其特征在于，包括如下步驟：
在恒溫裝置內，采集雙極性器件的多階梯恒流脈沖所對應的溫敏參數，獲得所述雙極性器件的電流-溫敏參數-溫度三維曲線簇；
設定所述雙極性器件的有效面積，根據MQH算法，選定基準電流，得到所述基準電流的序列；
根據所述電流-溫敏參數-溫度三維曲線簇和所述基準電流的序列，得到電流-有效面積-溫敏參數-溫度曲線簇；
通過所述多階梯恒流脈沖多次測試所述雙極性器件，得到同一電流在不同時間的溫敏參數，然后將所述同一電流在不同時間的溫敏參數進行多項式擬合，得到零時刻溫敏參數；
根據所述零時刻溫敏參數和所述電流-有效面積-溫敏參數-溫度曲線簇，得到所述有效面積所對應的結溫。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述電流-有效面積-溫敏參數-溫度曲線簇通過以所述基準電流的序列為參量，以所述溫敏參數為自變量，以所述溫度為應變量進行多項式擬合即得。
3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述得到同一電流在不同時間的溫敏參數的方法具體包括如下步驟：
對所述雙極型器件的射基結施加正向偏壓，對所述雙極型器件的集基結施加反向偏壓，使所述雙極型器件處于放大模式狀態，然后通過在集電極與發射極之間施加一加熱電流；
經加熱后，關斷所述加熱電流，在所述集電極與所述發射極之間施加一測量電流，延遲10-30微秒測量所述集電極與所述發射極之間的溫敏參數，通過多階梯恒流重復脈沖測試所述雙極型器件，得到同一電流在不同時間的溫敏參數。
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