[發明專利]一種光學元件透過率的測量方法及裝置

有效

• 申請號: 201210524943.5
• 申請日: 2012-12-07
• 公開（公告）號: CN103018012A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 周翊;宋興亮;范元媛;沙鵬飛;趙江山;李慧;鮑洋;張立佳;崔惠絨;王宇
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電研究院
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 宋焰琴

1.一種光學元件透過率測量方法，用于測量光學元件對于特定波長的激光光束的透過率，其特征在于，該方法包括如下步驟：

將所述特定波長的激光光束進行分束，得到兩束激光，使之分別通過一個參考光路和一個測量光路；

在測量光路上不放置所述光學元件，測量得到通過參考光路的激光光束的能量E₁，通過測量光路的激光能量為E₂；

在測量光路上放置所述元學元件，測量得到通過參考光路的激光光束的能量E₁’，通過測量光路的激光能量為E₃；

根據公式T＝E₁E₃/E₁’E₂計算該光學元件的透過率T。

2.一種光學元件透過率測量裝置，用于測量光學元件對于特定波長的激光光束的透過率，該裝置包括用于產生該特定波長的激光光束的激光產生裝置，其特征在于，該光學元件透過率測量裝置還包括分束器、第一光探測器和第二光探測器，

所述分束器用于將所述激光產生裝置產生的激光分成兩束，一束通過一個測量光路，另一束通過一個參考光路；

所述第一、第二探測器用于測量投射其上的激光光束的能量；其中

所述光學元件能夠可拆卸地安裝在所述測量光路上，且當該光學元件安裝在該測量光路上時，所述激光光束能透射過該待測光學元件后入射到所述第一光探測器，以及

所述參考光路的激光直接入射到第二光探測器。

3.如權利要求2所述的光學元件透過率測量裝置，其特征在于，在所述參考光路和所述測量光路上均包括小孔板，所述小孔板上設置有供激光通過的小孔，該小孔用于調節激光光束大小，使得光束大小與所述光學元件的受光區域面積相當。

4.如權利要求2所述的光學元件透過率測量裝置，其特征在于，所述光學元件(500)通過所述待測元件夾持裝置(510)可拆卸地固定在所述測量裝置的測量光路中。

5.如權利要求2所述的光學元件透過率測量裝置，其特征在于，還包括數據處理裝置(800)，其用于接收由第一光探測器(600)和第二光探測器(601)測得的激光能量信號，對所述激光能量信號進行處理后得到所述光學元件(500)的透過率。

6.一種光學元件透過率測量裝置，用于測量光學元件對于特定波長的激光光束的透過率，該裝置包括用于產生具有特定波長和第一重頻頻率的激光光束的激光產生裝置，其特征在于，該光學元件透過率測量裝置還包括分束器、光斬波器、分束鏡、第一鎖相放大器、第二鎖相放大器和光探測器，

所述激光產生裝置還用于同步產生一個重頻信號，并將該重頻信號發送到所述光斬波器和第一鎖相放大器，該重頻信號頻率等于激光脈沖重頻頻率；

所述分束器用于將所述激光產生裝置產生的激光分成兩束，一束通過一個測量光路，另一束通過一個參考光路；

所述光斬波器用于接收由分束器出射的通過所述參考光路的激光，以所述激光產生裝置發出的重頻信號作為觸發信號，根據一調制信號對所接收的激光進行斬波調制，輸出具有第二重頻頻率的激光，該調制信號頻率等于第二重頻頻率；

所述分束鏡用于將所述測量光路與所述參考光路的激光在測量光方向與參考光方向分別合并生成為兩束混合光束；在入射到此分束鏡前，測量光路方向與參考光路方向正交，測量光和參考光在分束鏡上同一位置發生透射和反射，測量光的透射光與參考光的反射光合成一束混合光束，而測量光的反射光與參考光的透射光則合成另一束混合光束，這兩束混合光束在分束鏡上同一位置處正交出射分束鏡；

所述光探測器用于測量所述混合光束的能量信號，并將其分別輸入所述第一、第二鎖相放大器；

所述第一鎖相放大器和第二鎖相放大器用于分別接收所述激光產生裝置發出的重頻信號和所述光斬波器發出的調制信號，并分別將第一重頻頻率和第二重頻頻率作為其參考頻率，以分別從所述混合光束的能量信號中檢測出頻率分別為所述第一重頻頻率和所述第二重頻頻率的激光能量信號，這兩個信號分別對應于測量光束與參考光束的光強；

待測光學元件能夠可拆卸地安裝在測量光路上，且當該光學元件安裝在該測量光路上時，所述激光光束能透射過該待測光學元件后入射到分束鏡。