[發明專利]一種光掃描散射儀

有效

• 申請號: 201210524802.3
• 申請日: 2012-12-07
• 公開（公告）號: CN103018208A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 郭繼華;廖然;曾楠;馬輝;何宏輝
• 申請（專利權）人: 清華大學深圳研究生院
• 主分類號: G01N21/49
• 分類號: G01N21/49;G01N21/01
• 代理公司: 深圳新創友知識產權代理有限公司 44223
• 代理人: 江耀純

1.一種光掃描散射儀，其特征是：包括可轉動的掃描光源系統和與之配套的散射光接收系統，及對所接收散射光進行處理的信號處理系統，所述散射光接收系統還包括配合其進行角度濾波的濾光系統。

2.如權利要求1所述的光掃描散射儀，其特征是：所述可轉動的掃描光源系統置于設有出射光窗的密封殼內，并對應所述出射光窗設置，所述出射光窗是平面光窗、弧面光窗或球面光窗；所述散射光接收系統包括光電轉換器和入射光窗。

3.如權利要求2所述的光掃描散射儀，其特征是：所述可轉動的掃描光源系統設有光強度調制裝置，可使出射光的強度隨時間做周期性變化。

4.如權利要求1所述的光掃描散射儀，其特征是：所述信號處理系統是用于將所述散射光接收系統接收的信號進行增強放大處理的信號處理器。

5.如權利要求4所述的光掃描散射儀，其特征是：所述信號處理器包括依次連接的工頻阻隔器、窄帶帶通濾波器、調制解調器、低通濾波器以及模數轉換器，所述調制解調器用于把所接收的電信號轉移到高頻以減少噪音，所述模數轉換器用于將所述電信號轉換為數字信號并輸出。

6.如權利要求1所述的光掃描散射儀，其特征是：所述濾光系統包括，

用于接收平行光的平行光濾光器，該平行光濾光器包括兩個透鏡及設置在兩者之間的狹縫；

或用于接收一定角度范圍的光的濾光組件，該濾光組件置于所述球面光窗之后，包括配合所述球面光窗的魚眼鏡頭、第一、二、三透鏡和狹縫，所述魚眼鏡頭、第一透鏡、狹縫、第二狹縫和第三狹縫依次設置。

7.如權利要求1-6任一所述的光掃描散射儀，其特征是：該光掃描散射儀還包括設置在所述掃描光源的光束出射路徑上用于確定掃描光束的偏振態的第一偏振變換系統，和設置在所述濾光系統與所述信號處理系統之間的光路上用于確定經所述濾光系統過濾后的光的偏振態的第二偏振變換系統。

8.如權利要求7所述的光掃描散射儀，其特征是：在所述光源掃描系統的掃描光束出射的方向上先后設置兩個凸透鏡，所述兩個凸透鏡的光軸重合，所述掃描光源系統在所述兩個凸透鏡的寬度范圍內掃描。

9.如權利要求7所述的光掃描散射儀，其特征是：所述散射光接收系統有兩個以上，根據需要相互間垂直設置、平行設置或以其它夾角設置，分別接收不同角度的散射光。

10.如權利要求9所述的光掃描散射儀，其特征是：所述可轉動的掃描光源系統有兩個以上。

11.如權利要求2-6任一所述的光掃描散射儀，其特征是：所述出射光窗上設置有可避免來自掃描光源系統的掃描光束直射到所述濾光系統的遮光板。