[發明專利]一種復合掩模板在審
| 申請號： | 201210524525.6 | 申請日： | 2012-12-10 |
| 公開（公告）號： | CN103862744A | 公開（公告）日： | 2014-06-18 |
| 發明（設計）人： | 魏志凌;高小平 | 申請（專利權）人： | 昆山允升吉光電科技有限公司 |
| 主分類號： | B32B15/04 | 分類號： | B32B15/04;B32B27/06;B32B38/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215300 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 復合 模板 | ||
【權利要求書】：
1.一種復合掩模板，其特征在于，至少包括兩層相互貼緊聯接平板結構，至少一層為金屬層結構，至少一層為非金屬層結構，所述金屬層結構與所述非金屬層結構之間貼緊結合，所述復合模板上設置有貫通開口。
2.根據權利要求1所述的復合掩模板，其特征在于，所述貫通開口為利用激光切割形成的貫通開口結構。
3.根據權利要求2所述的復合掩模板，其特征在于，所述貫通開口為利用紫外激光切割形成的貫通開口結構。
4.根據權利要求1所述的復合掩模板，其特征在于，所述復合掩模板為三層夾心結構，即包括兩層金屬層結構和置于兩層所述金屬層結構之間的一層非金屬層結構。
5.根據權利要求1、4所述的復合掩模板，其特征在于，所述非金屬層結構厚度大于所述金屬層結構厚度。
6.根據權利要求1、2、5所述的復合掩模板，其特征在于，所述非金屬層結構為聚合物層結構。
7.根據權利要求6所述的復合掩模板，其特征在于，所述聚合物層結構為耐酸堿性強、柔韌性強的塑料材料層結構。
8.根據權利要求1、4所述的復合掩模板，其特征在于，所述金屬層結構為鎳或鎳基合金層結構。
9.根據權利要求1、4、8所述的復合掩模板，其特征在于，所述金屬層為鍍層或涂層。
10.根據權利要求1所述的復合掩模板，其特征在于，所述金屬層是與非金屬層相滲透的滲透層或是包含與非金屬層相滲透的滲透層的金屬層結構。
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