[發明專利]一種抗蝕劑剝離液有效
| 申請號: | 201210523929.3 | 申請日: | 2012-12-07 |
| 公開(公告)號: | CN103019051A | 公開(公告)日: | 2013-04-03 |
| 發明(設計)人: | 舒適;劉陸;王燦;齊永蓮;惠官寶 | 申請(專利權)人: | 京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/42 | 分類號: | G03F7/42 |
| 代理公司: | 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
| 地址: | 100015 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 抗蝕劑 剝離 | ||
技術領域
本發明涉及光學元件,尤其涉及一種抗蝕劑剝離液。
背景技術
彩色濾光片包括玻璃基板上的黑矩陣層、彩色濾光層(R、G、B)等構成。其中彩色濾光片的制造工序中形成各膜層的工藝如下。
首先在玻璃基板上涂布一層對應膜層的光刻膠,然后進行預烘烤,預烘烤好后進行曝光、顯影,最后進行后烘烤,因此在彩色濾光片生產工序中如果發現有不良品,絕大多數已經經過了至少一次的后烘烤。后烘烤后的彩色抗蝕劑已經交聯固化,顯影液已經不能將其從基板上剝離;還可能在彩色抗蝕劑層上形成一層保護層,也無法去除剝離。
其中,黑矩陣材料通常為含有鉻或氧化鉻的材料,或有機材料;彩色抗蝕劑材料通常為包括有機顏料、光固化組分、光起始劑、堿溶性樹脂、溶劑、其他助劑的組合物;保護層材料通常為包括:光固化組分、光起始劑、堿溶性樹脂、溶劑、其他助劑的組合物。
由于玻璃基板成本很高,如果直接廢棄會造成很大浪費,因此可以將不良彩色濾光片基板上的膜層全部剝離掉,重新使用,可以節約成本。但是如果膜層剝離的不干凈,或者徹底剝離需要的時間很長,就無法起到節約成本的作用。
因此提供一種剝離液,能夠快速有效地去除彩色抗蝕劑以及保護層成為本領域人員需要解決的技術問題。
發明內容
本發明的目的在于提供一種抗蝕劑剝離液,以快速有效地去除彩色濾光片上的彩色抗蝕劑以及保護層。
為達到上述目的,本發明提供的彩色濾光片用彩色抗蝕劑剝離液的實施例采用如下技術方案:
一種抗蝕劑剝離液,包括質量分數為10-45%的烷氧基堿金屬鹽,質量分數為10-30%的有機胺,質量分數為5-30%的表面活性劑,質量分數為20-60%的溶劑,質量分數為1-55%的醇。
進一步的,所述抗蝕劑剝離液包括質量分數為25-45%的烷氧基堿金屬鹽,質量分數為10-20%的有機胺,質量分數為10-30%的表面活性劑,質量分數為35-60%的溶劑,質量分數為5-20%的醇。
優選地,所述烷氧基堿金屬鹽為烷氧基鈉、烷氧基鋰、烷氧基鉀中的一種或多種。
優選地,所述烷氧基堿金屬鹽為甲醇鈉、乙醇鈉、正丙醇鈉、異丙醇鈉、叔丁醇鈉、甲醇鉀、乙醇鉀、正丙醇鉀、異丙醇鉀、叔丁醇鉀、甲醇鋰、乙醇鋰、正丙醇鋰、異丙醇鋰、叔丁醇鋰中的一種或多種。
優選地,所述有機胺為甲醇胺、乙醇胺、二乙胺、三乙胺、二乙醇胺、三乙醇胺、異丙醇胺、二異丙醇胺、三異丙醇胺中的一種或多種。
優選地,所述表面活性劑為聚氧乙烯醚、聚氧丙烯醚中的一種或多種。
優選地,所述溶劑為N-甲基吡咯烷酮、二丙二醇甲基醚,N,N-二甲基乙酰胺,N,N-二甲基甲酰胺中的一種或多種。
優選地,所述醇為甲醇、乙醇、丙醇、異丙醇、正丁醇、異丁醇、叔丁醇中的一種或多種。
本發明實施例提供的抗蝕劑剝離液,能在較低溫度下、較短時間內去除彩色濾光片上的彩色抗蝕劑和保護層,對玻璃基板沒有損傷,用上述剝離液處理后的玻璃基板能夠再利用。
具體實施方式
下面對本發明實施例進行詳細描述。
應當明確,所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒景l明中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其它實施例,都屬于本發明保護的范圍。
為了研發對彩色抗蝕劑及保護層更為有效的剝離方法,使以往基本上都被廢棄的彩色濾光片的玻璃基板能夠得到回收使用而進行重復研究的結果,發現使用具有特定組分的剝離液組合物,就可快速有效地去除彩色抗蝕劑及保護層,從而完成了本發明。
本發明實施例提供的抗蝕劑剝離液的配方包括:質量分數為10-45%的烷氧基堿金屬鹽,質量分數為10-30%的有機胺,質量分數為5-30%的表面活性劑,質量分數為20-60%的溶劑,質量分數為1-55%的醇。抗蝕劑剝離液可以用于制作彩色濾光片工藝中,例如可快速有效地去除彩色抗蝕劑及保護層。
作為上述實施例的優選實施例,抗蝕劑剝離液包括質量分數為25-45%的烷氧基堿金屬鹽,質量分數為10-20%的有機胺,質量分數為10-30%的表面活性劑,質量分數為35-60%的溶劑,質量分數為5-20%的醇。
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