[發明專利]一種帶有管式微濾膜組件的研磨廢水回用、硅粉回收裝置

無效

• 申請號: 201210523814.4
• 申請日: 2012-12-07
• 公開（公告）號: CN103028329A
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發明（設計）人: 王毅剛;錢麗莉;王昕彤
• 申請（專利權）人: 無錫凝洋環保科技有限公司
• 主分類號: B01D63/06
• 分類號: B01D63/06;B01D61/18;C02F1/44;C01B33/02
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 曾少麗

技術領域

本發明涉及水處理技術領域，尤其涉及一種帶有管式微濾膜組件的研磨廢水回用、硅粉回收裝置。

背景技術

目前，電子廠中對晶元減薄、晶背研磨和晶元切割過程中產生的廢水（以下簡稱“研磨廢水”），含有微小的硅屑和去離子水，其中因硅屑顆粒較小，排放至水中仍有微小的硅屑飄浮于水中，使水呈黑褐色，不僅不能重復使用，而且還直接影響到工廠的景觀。所以，只要能夠將硅屑和去離子水分離開來，產水就可以回用，同時硅粉也可以被分離出來，進而用于適合的生產中去，實現資源化生產。當今社會，水已成為一種短缺的商品，被看作是一種有限的寶貴資源；而硅粉的價格比較昂貴，為實現資源的合理化運用，為此在生產中一定要把水的安全、資源和環境三方面功能統一起來，著力形成人與自然和諧的水生態環境，資源合理開發利用的美好局面。

現有的處理研磨廢水的方法主要有：絮凝沉淀法、連續中空纖維超濾處理技術、浸沒式平板膜處理技術和管式超濾膜處理技術。絮凝沉淀法通過加藥產生電化學、物理化學等過程將廢水進行固液分離，該絮凝沉淀法效率高，處理方法成熟，操作簡單，但是在處理過程中使用大量的絮凝劑、助凝劑幫助沉淀，易產生二次污染，產水很難再利用；連續中空纖維超濾處理技術是采用中空纖維膜過濾組件來處理廢水，中空纖維膜過濾組件，由中空纖維膜絲組成，中空纖維膜絲易斷裂，通量低，產水水質不穩定，化學清洗頻繁，能源消耗大等問題；浸沒式平板膜處理技術是由浸沒式平板膜過濾膜組件處理廢水，浸沒式平板膜過濾膜組件是將膜組件直接浸入到原水箱中，采用泵或者虹吸的方式實現負壓，該工藝簡單，能耗低，回收率高，但是系統不能反洗，維護保養操作繁瑣，體積較大，運行過程中極易漏；管式超濾膜處理設備是由高循環流速的管式超濾膜組件構成，采用進料液的流動方向和膜的壓力方向垂直的錯流過濾，錯流過濾平行于膜表面有一個回流，這個回流會有效地沖走膜表面的污染物，但是由于研磨廢水中硅粉的顆粒極細，極易堵塞于膜孔，錯流不能帶走膜表面的硅粉，從而影響膜通量。上述各膜處理方法都不能進行在線沖洗，極易造成膜堵塞，不能長期有效的處理研磨廢水，因此只能作為研磨廢水處理的輔助參考手段。

有鑒于此，如何設計一種帶有反沖洗功能的管式微濾膜組件的研磨廢水回用、硅粉回收裝置，以增加產水率并帶來能源回收的附加經濟效益，是業內人士亟需解決的問題。

發明內容

針對現有技術中，中空纖維膜過濾組件的易堵塞、需頻繁沖洗、產水率較低、能耗較大；管式超濾膜不能反沖洗等缺陷，本發明提供了一種帶有管式微濾膜組件的研磨廢水回用、硅粉回收裝置。

根據本發明，提供了一種帶有管式微濾膜組件的研磨廢水回用、硅粉回收裝置，其中，包括：

原水箱，用來容納廢水；

第一輸送管，一端連通于所述原水箱的下端；

循環泵，設置于所述第一輸送管上；

管式微濾膜組件，連通于所述第一輸送管的另一端；

產水箱，用來儲存經處理得到的純凈水；

第二輸送管，連通所述管式微濾膜組件與所述產水箱；

第三輸送管，一端連通于所述原水箱的下端；

硅泥回收裝置，連通于所述第三輸送管的另一端；

泥漿輸送泵，設置于所述原水箱與所述硅泥回收裝置之間的所述第三輸送管上；

第四輸送管，一端連通于所述產水箱且另一端連通于所述第二輸送管；

反沖洗泵，設置于所述第四輸送管上；

自動控制系統，用于控制所述循環泵、所述泥漿輸送泵、所述第一輸送管、所述第二輸送管、所述第三輸送管、第四輸送管上的調節閥、計量儀及水質分析儀；

其中，廢水從所述原水箱中出來經所述循環泵作用，進入所述管式微濾膜組件進行凈化，凈化后從垂直方向透過所述管式微濾膜組件進入所述產水箱，產生的濃縮水回流至所述原水箱，所述原水箱內的濃縮水達到濃度后進入硅泥回收裝置進行脫水，形成泥餅以排出并回收利用。

優選地，所述管式微濾膜組件包括：

若干個鑲嵌式錨型結構的管式微濾膜過濾元件，各所述管式微濾膜過濾元件內設置有微濾膜且具有進水端及出水端，所述出水端垂直于所述管式微濾膜過濾元件的管壁，所述進水端連通所述第一輸送管；以及

第一連接管，連通相鄰的兩所述管式微濾膜過濾元件。

優選地，所述微濾膜進行反沖洗

優選地，所述微濾膜的孔徑為0.05μm。

優選地，所述硅泥回收裝置為壓濾機、離心分離器、蒸發機中的任意一種。

優選地，更包括：

第五輸送管，連通所述第一輸送管；