[發(fā)明專利]包含復(fù)合層的柔性襯底硅基多結(jié)疊層太陽電池無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210521938.9 | 申請日: | 2012-12-07 |
| 公開(公告)號: | CN102945886A | 公開(公告)日: | 2013-02-27 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 劉成;徐正軍;楊君昆 | 申請(專利權(quán))人: | 上??臻g電源研究所 |
| 主分類號: | H01L31/076 | 分類號: | H01L31/076 |
| 代理公司: | 上海信好專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31249 | 代理人: | 張靜潔;賈慧琴 |
| 地址: | 201112 *** | 國省代碼: | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 包含 復(fù)合 柔性 襯底 基多 結(jié)疊層 太陽電池 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及光伏電池,特別涉及一種包含復(fù)合層的柔性襯底硅基多結(jié)疊層薄膜太陽電池。
背景技術(shù)
在目前廣泛使用的薄膜太陽電池中,主要采用的是非晶硅薄膜材料,但非晶硅薄膜太陽電池存在兩個重要問題:(1)光致衰退效應(yīng)使電池穩(wěn)定性不夠理想;(2)帶隙較寬,材料本身對太陽輻射光譜中長波光吸收不充分,限制了電池效率的進一步提高。為了解決這兩個問題,近年來人們廣泛開展了非晶硅/微晶硅疊層太陽電池和非晶硅/非晶硅鍺疊層太陽電池的研究工作。為減少疊層太陽電池中子電池的連接損失,在光照時頂電池產(chǎn)生的電子和底電池產(chǎn)生的空穴在疊層太陽電池的子電池連接處的復(fù)合幾率要盡可能地大。由于最高摻雜濃度的限制,頂電池的n型層和底電池的p型層所能達到的缺陷態(tài)密度有限。故如何增加疊層太陽電池子電池連接處的缺陷態(tài)密度,進而提高載流子的復(fù)合幾率,將會對提高電池整體性能起到關(guān)鍵作用。
目前沒有發(fā)現(xiàn)同本發(fā)明類似技術(shù)的說明或報道,也尚未收集到國內(nèi)外類似的資料。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是針對上述存在的問題,提出了一種包含復(fù)合層的柔性襯底硅基多結(jié)疊層太陽電池結(jié)構(gòu),該結(jié)構(gòu)通過在疊層太陽電池的子電池間插入一層高缺陷態(tài)的復(fù)合層,增加載流子的復(fù)合幾率,從而提高電池的效率和穩(wěn)定性。
為達到上述目的,本發(fā)明提供了一種包含復(fù)合層的柔性襯底硅基多結(jié)疊層太陽電池,該太陽電池包含由下到上依次設(shè)置的:
金屬箔或聚酯膜柔性襯底;
背反射電極;
微晶硅或非晶硅鍺底電池;
復(fù)合層;
非晶硅頂電池;及
頂電極,該頂電極為透明導(dǎo)電薄膜;
其中,所述的復(fù)合層采用非晶硅鍺(a-SiGe)合金材料制成,位于頂電池和底電池之間,帶隙介于1.0eV~1.7eV之間,厚度介于1nm~20nm之間。非晶硅材料的結(jié)構(gòu)特點是“短程有序,長程無序”,因硅原子價鍵的不飽和使得材料中存在較多的缺陷態(tài)。鍺原子的摻入使得非晶硅鍺材料的缺陷態(tài)密度更高。非晶硅鍺材料因其合適的帶隙寬度和較高的吸收系數(shù)被用為薄膜太陽電池的本征吸收層,而其高缺陷態(tài)的特性尚未被利用。?
上述的包含復(fù)合層的柔性襯底硅基多結(jié)疊層太陽電池,其中,所述的復(fù)合層利用等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備來制備,反應(yīng)氣體為鍺烷、硅烷、氫氣、硼烷及磷烷。
本發(fā)明的技術(shù)方案,由于最高摻雜濃度的限制,頂電池的n型層和底電池的p型層所能達到的缺陷態(tài)密度有限。通過在疊層太陽電池的子電池間插入一層高缺陷態(tài)的非晶硅鍺復(fù)合層,增加疊層太陽電池子電池連接處的缺陷態(tài)密度,進而提高載流子的復(fù)合幾率,有利于提高電池的光電轉(zhuǎn)化效率和穩(wěn)定性。
附圖說明
圖1是本發(fā)明的一種包含復(fù)合層的柔性襯底硅基多結(jié)疊層太陽電池的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明的技術(shù)方案做進一步的說明。
如圖1所示,本發(fā)明的包含復(fù)合層的柔性襯底硅基多結(jié)疊層太陽電池,該太陽電池包含由下到上依次設(shè)置的金屬箔或聚酯膜柔性襯底11、背反射電極12、微晶硅或非晶硅鍺底電池13、復(fù)合層14、非晶硅頂電池15;及,頂電極16,該頂電極16為透明導(dǎo)電薄膜;其中,所述的復(fù)合層14采用非晶硅鍺合金材料制成。
以下通過實施例說明該太陽電池的制備方法。
實施例??雙結(jié)疊層電池
在厚度為75μm的聚酰亞胺襯底上依據(jù)以下步驟制備雙結(jié)疊層電池:
步驟1,采用磁控濺射方法在聚酰亞胺襯底11上沉積Ag/ZnO背反射電極12。
步驟2,采用等離子體化學(xué)氣相沉積(PECVD)方法沉積NIP結(jié)構(gòu)的非晶硅鍺底電池13,其中N層非晶硅反應(yīng)氣體為氫氣、硅烷和磷烷,厚度為10nm~50nm,I層非晶硅鍺層反應(yīng)氣體為氫氣、硅烷和鍺烷,厚度為150nm~400nm,P層納米硅反應(yīng)氣體為氫氣和硅烷,厚度為10nm~50nm。
步驟3,采用等離子體化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備沉積非晶硅鍺復(fù)合層14,反應(yīng)氣體為氫氣、硅烷和鍺烷,厚度為1~20nm。
步驟4,采用等離子體化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備沉積NIP結(jié)構(gòu)的非晶硅頂電池15,其中N層非晶硅反應(yīng)氣體為氫氣、硅烷和磷烷,厚度為10~50nm,I層非晶硅層反應(yīng)氣體為氫氣和硅烷,厚度為150~300nm,P層納米硅反應(yīng)氣體為氫氣和硅烷,厚度為10nm~50nm。
步驟5,采用磁控濺射方法沉積ITO(銦錫氧化物)透明導(dǎo)電薄膜作為頂電極16。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的





