[發(fā)明專利]一種用于氧傳感器的TiO2 敏感層結構及其制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210521345.2 | 申請日： | 2012-12-06 |
| 公開（公告）號： | CN103018309A | 公開（公告）日： | 2013-04-03 |
| 發(fā)明（設計）人： | 王海容;孫全濤;張歡;陳磊 | 申請（專利權）人： | 西安交通大學 |
| 主分類號： | G01N27/409 | 分類號： | G01N27/409 |
| 代理公司： | 西安通大專利代理有限責任公司 61200 | 代理人： | 朱海臨 |
| 地址： | 710049 *** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 傳感器 tio sub 敏感 結構 及其 制備 方法 | ||
1.一種用于氧傳感器的TiO2敏感層結構，包括設置在絕緣層上表面的Pt叉指狀電極層和其上的TiO2敏感層，Pt叉指狀電極層下面設有Ti粘結層，形狀和Pt叉指狀電極相吻合，其中，絕緣層為上、下兩層，上、下絕緣層之間有加熱層，其特征在于，所述TiO2敏感層為摻雜有Pt的TiO2層，其平面幾何特征為多孔網(wǎng)狀結構。
2.如權利要求1所述的用于氧傳感器的TiO2敏感層結構，其特征在于，所述多孔網(wǎng)狀結構的TiO2敏感層，其網(wǎng)線寬為2-4μm；縱橫網(wǎng)線圍成的網(wǎng)孔為邊長4-8μm的正方形。
3.如權利要求1所述的用于氧傳感器的TiO2敏感層結構，其特征在于，最外層網(wǎng)線圍成邊長為74-148μm大正方形。
4.如權利要求2所述的用于氧傳感器的TiO2敏感層結構，其特征在于，所述Pt叉指狀電極，叉指寬度剛好為網(wǎng)線寬度；叉指間距剛好為網(wǎng)孔的邊長。
5.一種用于氧傳感器的TiO2敏感層的制備方法，基于權利要求1所述的用于氧傳感器的TiO2敏感層的結構，其特征在于，包括下述步驟：
a．用勻膠光刻法在絕緣層表面定義出Pt叉指狀電極的形狀和位置；
b.用濺射方法濺射50nm厚的Ti作為Ti粘結層，隨后濺射150nm厚Pt，采用超聲剝離工藝去除膠膜形成叉指狀電極；
c．以溶膠凝膠法制備含鈦離子乳膠，用勻膠法涂敷到叉指狀電極所在位置的上絕緣層上，并覆蓋叉指狀電極，經(jīng)500℃烘干，形成TiO2膜層；
d．用光刻膠做掩蔽層，利用反應離子刻蝕法將TiO2膜層刻蝕成正方形網(wǎng)狀結構，并同時刻蝕出叉指電極引線盤。
6.如權利要求5所述的用于氧傳感器的TiO2敏感層的制備方法，其特征在于，所述多孔網(wǎng)狀結構的TiO2敏感層，其網(wǎng)線寬為2-4μm；縱橫網(wǎng)線圍成的網(wǎng)孔為正方形，邊長4-8μm。
7.如權利要求5所述的用于氧傳感器的TiO2敏感層的制備方法，其特征在于，最外層網(wǎng)線圍成大正方形，邊長為74-148μm。
8.如權利要求6所述的用于氧傳感器的TiO2敏感層的制備方法，其特征在于，所述Pt叉指狀電極的叉指寬度剛好為網(wǎng)線寬度；叉指間距剛好為網(wǎng)孔的邊長。
9.如權利要求5所述的用于氧傳感器的TiO2敏感層的制備方法，其特征在于，所述的含鈦乳膠，加入有乙酰丙酮鉑，使Pt：Ti的原子數(shù)比為0.05。
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