[發明專利]一種直驅式運動解耦的高精度伺服平臺

有效

• 申請號: 201210519763.8
• 申請日: 2012-12-07
• 公開（公告）號: CN103021473A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 閆鵬;劉鵬博;張震;王鵬
• 申請（專利權）人: 山東大學
• 主分類號: G12B5/00
• 分類號: G12B5/00
• 代理公司: 濟南圣達知識產權代理有限公司 37221
• 代理人: 鄭華清

1.一種直驅式運動解耦的高精度伺服平臺，包括基座、下層平臺、第一導軌、上層平臺和第二導軌，所述的第一導軌固定于基座上，下層平臺沿第一導軌滑動，所述的第二導軌固定在下層平臺上，上層平臺沿第一導軌滑動，其特征在于：還包括第一音圈電機、滑塊、滑軌和第二音圈電機，所述的滑軌設于上層平臺的一端，且滑軌上設有自由滑動的滑塊，滑塊與第二音圈電機的動子連接；所述的第一音圈電機的動子與下層平臺的一端固定連接；所述的兩個音圈電機的定子均固定在固定板上，所述的下層平臺和第二音圈電機上分別設有位移傳感器。

2.如權利要求1所述的直驅式運動解耦的高精度伺服平臺，其特征在于：所述的固定板通過螺栓固定在基座上。

3.如權利要求1所述的直驅式運動解耦的高精度伺服平臺，其特征在于：所述的第一導軌通過螺栓固定在基座上，所述的第二導軌通過螺栓固定在下層平臺上。

4.如權利要求1所述的直驅式運動解耦的高精度伺服平臺，其特征在于：所述的位移傳感器為直線光柵尺和讀寫頭。

5.如權利要求4所述的直驅式運動解耦的高精度伺服平臺，其特征在于：所述的直線光柵尺一個貼于下層平臺的一側；另一個固定在第二音圈電機動子上，所述的兩個直線光柵尺的讀寫頭均固定在基座上，且兩個直線光柵尺的輸出信號線均從讀寫頭上接出，并且對其固定。

6.如權利要求1所述的直驅式運動解耦的高精度伺服平臺，其特征在于：所述的滑塊為交叉滾子滑塊。

7.如權利要求1所述的直驅式運動解耦的高精度伺服平臺，其特征在于：所述的第一導軌和第二導軌均為交叉滾子導軌。

8.如權利要求1所述的直驅式運動解耦的高精度伺服平臺，其特征在于：所述的第一音圈電機的定子和第二音圈電機的定子分別設于第一固定板和第二固定板上，所述的第一固定板和第二固定板相互垂直，且均固定于基座上。

9.如權利要求1所述的直驅式運動解耦的高精度伺服平臺，其特征在于：所述的第一音圈電機和第二音圈電機均采用外部永磁、內部電磁的結構，并且永磁部分作為動子，電磁部分作為定子，所述的定子與動子之間有間隙。

10.如權利要求1所述的直驅式運動解耦的高精度伺服平臺，其特征在于：所述的第一音圈電機和第二音圈電機的信號線直接從音圈電機定子上接出，并且對信號線固定。