[發(fā)明專利]一種MEMS掃描探頭

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210519608.6
• 申請(qǐng)日: 2012-12-06
• 公開（公告）號(hào): CN103033929A
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳巧;謝會(huì)開;周亮;丁金玲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無(wú)錫微奧科技有限公司
• 主分類號(hào): G02B26/08
• 分類號(hào): G02B26/08;G02B26/10
• 代理公司: 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 32200
• 代理人: 許方

1.?一種MEMS掃描探頭，包括基座（1）、光纖（2）、透鏡（3）、微鏡底座（7）、以及設(shè)置在微鏡底座（7）下表面的MEMS微鏡（4），其中，基座（1）的下表面沿其軸向方向設(shè)置有兩端開口的光學(xué)定位槽（6）；光纖（2）設(shè)置在光學(xué)定位槽（6）內(nèi)；通過設(shè)置在光學(xué)定位槽（4）內(nèi)的透鏡定位槽（9），將透鏡（3）設(shè)置在光纖（2）的一端；其特征在于：還包括柔性雙金屬結(jié)構(gòu)（8），微鏡底座（7）的一邊通過柔性雙金屬結(jié)構(gòu)（8）與基座（1）上靠近透鏡（3）的端部相連接，其中，柔性雙金屬結(jié)構(gòu)（8）的兩端分別連接基座（1）端部的上表面和微鏡底座（7）的上表面；柔性雙金屬結(jié)構(gòu)（8）使得設(shè)置于微鏡底座（7）下表面的MEMS微鏡（4）處于自傾斜狀態(tài)，與光學(xué)定位槽（6）實(shí)現(xiàn)光學(xué)對(duì)準(zhǔn)，且微鏡底座（7）下表面上與基座（1）最接近的邊和基座（1）的端部對(duì)設(shè)置于微鏡底座（7）下表面的MEMS微鏡（4）的自傾斜狀態(tài)進(jìn)行了限位。

2.?根據(jù)權(quán)利要求1所述一種MEMS掃描探頭，其特征在于：所述基座（1）的上表面設(shè)置有焊盤（5）。

3.?根據(jù)權(quán)利要求1或2所述一種MEMS掃描探頭，其特征在于：還包括設(shè)置于MEMS微鏡（4）與微鏡底座（7）之間的柔性電路板，MEMS微鏡（4）的控制引線與柔性電路板相連接。

4.?根據(jù)權(quán)利要求3所述一種MEMS掃描探頭，其特征在于：所述MEMS微鏡（4）的控制引線通過柔性電路板連接至所述焊盤（5）上。

5.?根據(jù)權(quán)利要求1所述一種MEMS掃描探頭，其特征在于：所述柔性雙金屬結(jié)構(gòu)（8）包括熱膨脹系數(shù)不同的兩種材料，柔性雙金屬結(jié)構(gòu)（8）彎曲的內(nèi)表面材料的熱膨脹系數(shù)小于外表面材料的熱膨脹系數(shù)。

6.?根據(jù)權(quán)利要求1或5所述一種MEMS掃描探頭，其特征在于：所述柔性雙金屬結(jié)構(gòu)（8）彎曲的內(nèi)表面為二氧化硅、氮化硅或多晶硅；外表面為鋁。