[發(fā)明專利]二自由度納米定位平臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210518329.8
• 申請日: 2012-12-05
• 公開（公告）號: CN102998899A
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 田延嶺;秦巖丁;張大衛(wèi);田佳
• 申請（專利權(quán)）人: 天津大學(xué)
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 天津市北洋有限責(zé)任專利代理事務(wù)所 12201
• 代理人: 張金亭

1.一種二自由度納米定位平臺，其特征在于，包括動平臺和基座，所述動平臺和所述基座通過X軸方向柔性支鏈和Y軸方向柔性支鏈連接；

所述X軸方向柔性支鏈包括沿平行X軸方向布置的壓電陶瓷驅(qū)動器、沿平行Y軸方向布置的位移放大杠桿、第一移動塊和第二移動塊；

所述沿平行X軸方向布置的壓電陶瓷驅(qū)動器的尾端固定在所述基座上，頂端頂接在所述沿平行Y軸方向布置的位移放大杠桿的底部；

所述沿平行Y軸方向布置的位移放大杠桿的底端通過沿平行X軸方向共線布置的兩個第一圓形鉸鏈連接在所述基座的內(nèi)壁上，所述沿平行Y軸方向布置的位移放大杠桿的頂端通過沿X軸方向布置的第一一字型柔性板簧與所述第一移動塊相連；

所述第一移動塊通過沿平行Y軸方向且共線布置的兩個第二一字型柔性板簧與所述基座的內(nèi)壁相連，所述第一移動塊通過沿平行X軸方向平行布置的兩個第三一字型柔性板簧與所述動平臺的右側(cè)連接，所述動平臺的左側(cè)通過沿平行X軸方向平行布置的兩個第四一字型柔性板簧與所述第二移動塊連接，所述第二移動塊通過沿平行Y軸方向且共線布置的兩個第五一字型柔性板簧與所述基座的內(nèi)壁相連；

所述Y軸方向柔性支鏈包括沿平行Y軸方向布置的壓電陶瓷驅(qū)動器、沿平行X軸布置的位移放大杠桿、第三移動塊和第四移動塊；

所述沿平行Y軸方向布置的壓電陶瓷驅(qū)動器的尾端固定在所述基座上，頂端頂接在所述沿平行X軸方向布置的位移放大杠桿的底部；

所述沿平行X軸方向布置的位移放大杠桿的底端通過沿平行Y軸方向共線布置的兩個第二圓形鉸鏈連接在所述基座的內(nèi)壁上，所述沿平行X軸方向布置的位移放大杠桿的頂端通過沿Y軸方向布置的第六一字型柔性板簧與所述第三移動塊相連；

所述第三移動塊通過沿平行X軸方向且共線布置的兩個第七一字型柔性板簧與所述基座的內(nèi)壁相連，所述第三移動塊通過沿平行Y軸方向平行布置的兩個第八一字型柔性板簧與所述動平臺的頂端連接，所述動平臺的底端通過沿平行Y軸方向平行布置的兩個第九一字型柔性板簧與所述第四移動塊連接，所述第四移動塊通過沿平行X軸方向且共線布置的兩個第十一字型柔性板簧與所述基座的內(nèi)壁相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二自由度納米定位平臺，其特征在于，所述沿平行X軸方向布置的壓電陶瓷驅(qū)動器和所述動平臺位于所述沿平行Y軸方向布置的位移放大杠桿的同側(cè)，所述沿平行Y軸方向布置的壓電陶瓷驅(qū)動器和所述動平臺位于所述沿平行X軸方向布置的位移放大杠桿的同側(cè)。