[發(fā)明專利]基板分割系統(tǒng)及基板分割方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210517954.0
• 申請(qǐng)日: 2012-12-05
• 公開（公告）號(hào): CN103224323A
• 公開（公告）日: 2013-07-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 安承旭;姜明一;白承渶
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社TES
• 主分類號(hào): C03B33/02
• 分類號(hào): C03B33/02
• 代理公司: 北京鴻元知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11327
• 代理人: 姜虎;陳英俊

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及對(duì)由相互貼合的一對(duì)構(gòu)成的基板進(jìn)行分割的基板分割系統(tǒng)及基板分割方法。

背景技術(shù)

使用于液晶顯示裝置（Liquid?Crystal?Display?Apparatus）等的顯示面板（Display?Panel）的基板，由形成有薄膜晶體管等的脆性材料的第一基板和形成有彩色濾光片等的脆性材料的第二基板構(gòu)成，通過在第一基板和第二基板之間形成液晶層之后，貼合第一基板和第二基板進(jìn)行制造。

并且，LCD面板在第一基板及第二基板分別執(zhí)行必要的工序而分別形成需要的層，貼合第一基板和第二基板而形成基板之后，分割為適當(dāng)?shù)某叽缍圃臁?/p>

基板的分割工序包括：利用硬度高于基板的鉆石材質(zhì)的刀輪在基板的表面形成裂紋的劃線工序、和在形成有裂紋的基板施加負(fù)荷來分割基板的折斷工序。

過去，為了分割第一基板和第二基板貼合而成的基板，當(dāng)操作者從存儲(chǔ)有基板的卡匣中取出基板，以使第一基板朝上的方式將基板搭載到劃線裝置，劃線裝置在第一基板上形成裂紋。然后，操作者翻轉(zhuǎn)基板而使形成有裂紋的第一基板朝下并搭載到折斷裝置時(shí)，折斷裝置的頭部從上側(cè)向下側(cè)對(duì)基板施加負(fù)荷來分割第一基板。

并且，當(dāng)操作者翻轉(zhuǎn)基板而使第二基板朝上并搭載到劃線裝置時(shí)，劃線裝置在第二基板上形成裂紋。然后，操作者翻轉(zhuǎn)基板而使形成有裂紋的第二基板朝下并搭載到折斷裝置時(shí)，折斷裝置的頭部從上側(cè)向下側(cè)對(duì)基板施加負(fù)荷而分割第二基板。

這樣，分割了第一基板和第二基板貼合而成的基板。

如上所述的現(xiàn)有的基板分割系統(tǒng)及基板分割方法通過操作者的手動(dòng)工作而翻轉(zhuǎn)基板，或運(yùn)送到劃線裝置及折斷裝置。因此，具有降低生產(chǎn)性的缺點(diǎn)。

并且，基板為大面積基板的情況下，操作者不能通過手動(dòng)工作翻轉(zhuǎn)及運(yùn)送基板。

在韓國公開專利公報(bào)10－2003－0086727號(hào)及韓國公開專利公報(bào)10－2006－0040281號(hào)等公開了與基板分割系統(tǒng)及基板分割方法相關(guān)的現(xiàn)有技術(shù)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是為了解決如上所述的現(xiàn)有技術(shù)的問題而提出的，本發(fā)明的目的在于，提供一種基板分割系統(tǒng)及基板分割方法，自動(dòng)執(zhí)行為分割基板而運(yùn)送或翻轉(zhuǎn)基板的工序，從而可以提高生產(chǎn)性。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明，公開一種基板分割系統(tǒng)，將存儲(chǔ)在卡匣中的基板取出并進(jìn)行分割，上述基板由成對(duì)的第一基板和第二基板貼合而成，其特征在于，包括：第一機(jī)械手，支承上述基板的朝下的面而從上述卡匣中取出上述基板，并將取出的上述基板翻轉(zhuǎn)而進(jìn)行運(yùn)送；劃線（Scribe）裝置，搭載上述基板，在上述基板的朝上的面以預(yù)定圖案形成裂紋；翻轉(zhuǎn)裝置，從上述劃線裝置接收上述基板并將上述基板翻轉(zhuǎn)，以使上述基板中需要分割的、形成有裂紋的面朝向下側(cè)；折斷（Break）裝置，從上述翻轉(zhuǎn)裝置接收上述基板，搭載上述基板的需要分割的、形成有裂紋的面，從上側(cè)施加負(fù)載而折斷上述基板的形成有裂紋的面；及第二機(jī)械手，對(duì)搭載于上述劃線裝置、上述翻轉(zhuǎn)裝置或上述折斷裝置上的上述基板的面中的朝上的面進(jìn)行支承，從而將上述基板從上述劃線裝置運(yùn)送到上述翻轉(zhuǎn)裝置，或從上述翻轉(zhuǎn)裝置運(yùn)送到上述折斷裝置，或從上述折斷裝置運(yùn)送到上述劃線裝置，或者從上述折斷裝置運(yùn)送到傳送帶。

另外，為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的基板分割方法，將存儲(chǔ)在卡匣中的基板取出并進(jìn)行分割，上述基板由成對(duì)的第一基板和第二基板貼合而成，且上述第一基板朝下，其特征在于，執(zhí)行如下步驟：用第一機(jī)械手支承存儲(chǔ)在上述卡匣中的上述基板的第一基板而取出上述基板，翻轉(zhuǎn)上述基板使上述第一基板朝向上側(cè)之后，向形成裂紋的第一劃線裝置運(yùn)送上述基板，從而在上述第一基板以預(yù)定圖案形成裂紋的步驟；用第二機(jī)械手支承形成有裂紋的上述第一基板之后，運(yùn)送到使上述基板翻轉(zhuǎn)的翻轉(zhuǎn)裝置，翻轉(zhuǎn)上述基板使上述第一基板朝向下側(cè)的步驟；用上述第二機(jī)械手支承上述基板中的在上述翻轉(zhuǎn)裝置中被翻轉(zhuǎn)而朝上的上述第二基板，將上述基板運(yùn)送到折斷上述基板的朝下的上述第一基板的第一折斷裝置，從而分割上述第一基板的步驟；用上述第二機(jī)械手支承朝上的上述第二基板之后，將上述基板運(yùn)送到在上述第二基板以預(yù)定圖案形成裂紋的第二劃線裝置，從而在上述第二基板形成裂紋的步驟；用上述第二機(jī)械手支承朝上的上述第二基板而將上述基板運(yùn)送到上述翻轉(zhuǎn)裝置之后，翻轉(zhuǎn)上述基板使上述第二基板朝向下側(cè)的步驟；用上述第二機(jī)械手支承朝上的上述第一基板之后，將上述基板運(yùn)送到折斷朝下的上述第二基板的第二折斷裝置，從而分割上述第二基板的步驟；用上述第二機(jī)械手支承朝上的上述第一基板，并運(yùn)送到傳送帶的步驟。