[發明專利]一種電磁驅動微鏡

有效

• 申請號: 201210510380.4
• 申請日: 2012-12-04
• 公開（公告）號: CN102967934A
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 王敏銳;李文翔;張寶順
• 申請（專利權）人: 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;H02K33/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種電磁驅動微鏡，包括微反射鏡板，所述微反射鏡板的中心設置有一反射鏡面，其特征在于：所述微反射鏡板的邊緣部設置有至少一閉合環狀的驅動線圈，兩端則分別通過一扭轉梁與一支撐框架連接，所述支撐框架兩側分別設有至少一永磁磁鐵，在所述驅動線圈被通入電流后，所述微反射鏡板可在驅動線圈與永磁磁鐵相互作用產生的電磁力驅動下繞扭轉梁扭轉。

2.根據權利要求1所述的電磁驅動微鏡，其特征在于：所述的驅動線圈相對于扭轉梁具有對稱結構。

3.根據權利要求1所述的電磁驅動微鏡，其特征在于：所述的驅動線圈在平行于扭轉梁的方向上的長度大于反射鏡面的長度。

4.根據權利要求1所述的電磁驅動微鏡，其特征在于：所述的微反射鏡板由上而下依次包括聚酰亞胺介質層、氧化硅介質層和硅基板；所述的驅動線圈設置于氧化硅介質層上。

5.根據權利要求4所述的電磁驅動微鏡，其特征在于：所述的驅動線圈包括由聚酰亞胺介質層隔離的上層驅動線圈和下層驅動線圈,上層驅動線圈和下層驅動線圈之間設置有一個連接點。

6.根據權利要求1所述的電磁驅動微鏡，其特征在于：所述的驅動線圈的材料為金。

7.根據權利要求1所述的電磁驅動微鏡，其特征在于：所述的永磁磁鐵為釹鐵硼系磁材料。

8.根據權利要求1所述的電磁驅動微鏡，其特征在于：扭轉梁與微反射鏡板以及支撐框架連接部采用過渡圓角結構。

9.根據權利要求1所述的電磁驅動微鏡，其特征在于：所述的反射鏡面為由反光金屬材料制成的金屬薄膜層。