[發明專利]一種晶硅鑄錠爐移動幕門裝置及其控制方法

有效

• 申請號: 201210508666.9
• 申請日: 2012-11-29
• 公開（公告）號: CN102978697A
• 公開（公告）日: 2013-03-20
• 發明（設計）人: 趙波;徐芳華;王明明;王琤;高杰;張瀛
• 申請（專利權）人: 杭州精功機電研究所有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 浙江翔隆專利事務所(普通合伙) 33206
• 代理人: 張建青

1.一種晶硅鑄錠爐移動幕門裝置，包括爐體(1)和置于爐體內的隔熱籠(2)，隔熱籠(2)內置熱交換臺(3)，其特征在于，位于熱交換臺下方的隔熱籠(2)底部開有一開口(21)，爐體(1)的下半部設有一上部可打開或閉合的移動幕門結構，所述的移動幕門結構包括一換熱板(6)、安裝在換熱板上表面上的全封閉的環狀側立板(11)和安裝在環狀側立板上的左、右移動板(4、5)，側立板(11)與換熱板(6)形成一換熱腔(12)，左、右移動板的頂部貼近隔熱籠的底部設置，當左、右移動板打開時，使隔熱籠與換熱腔貫通；當左、右移動板閉合時，將隔熱籠與換熱腔隔斷。

2.根據權利要求1所述的晶硅鑄錠爐移動幕門裝置，其特征在于，所述的左、右移動板通過驅動桿(13)各連接一用于控制其在任意位置打開或閉合的驅動機構(14)。

3.根據權利要求1所述的晶硅鑄錠爐移動幕門裝置，其特征在于，所述的驅動桿與爐體的連接處設有密封裝置(10)。

4.根據權利要求1所述的晶硅鑄錠爐移動幕門裝置，其特征在于，環狀側立板(11)的內徑與開口的寬度大小一致。

5.根據權利要求1所述的晶硅鑄錠爐移動幕門裝置，其特征在于，所述的左、右移動板的交接處形成企口結構。

6.根據權利要求1所述的晶硅鑄錠爐移動幕門裝置，其特征在于，所述的環狀側立板由具有良好保溫隔熱效果的材料制作而成。

7.權利要求1-6任一項所述晶硅鑄錠爐移動幕門裝置的控制方法，其特征在于，所述的驅動機構與晶硅鑄錠爐的控制系統集成，控制系統根據輸入的參數，對左、右移動板的

位置、移動速度、打開間距作伺服控制；

當需要最大的換熱量以獲取最高的冷卻速率時，控制系統控制左、右移動板迅速打開至最大間距，以獲得最大的輻射換熱面積；當需要小的換熱量時，控制系統控制左、右移動板向內移動至合適的小間距；

當左、右移動板打開時，為了保證左、右移動板打開間距對應的熱交換臺位置不至于造成局部偏冷現象，控制系統控制左、右移動板保持固有的打開間距，使使左移動板跟隨右移動板同步進行左右運動，以使熱交換臺底部得到均勻的散熱；同時，控制系統也可控制左、右移動板在同步運動中，左、右移動板之間的打開間距逐步放大，以匹配晶體生長不同階段換熱能力的需要。