[發明專利]無光窗式真空紫外燈質譜電離源

無效

• 申請號: 201210508604.8
• 申請日: 2012-11-30
• 公開（公告）號: CN103854953A
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發明（設計）人: 李海洋;蔣蕾;花磊;竇健;劉巍;蔣吉春
• 申請（專利權）人: 中國科學院大連化學物理研究所
• 主分類號: H01J49/12
• 分類號: H01J49/12;G01N27/64
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 馬馳

1.一種無光窗式真空紫外燈質譜電離源，其特征在于：包括一無光窗式真空紫外燈（1），密閉的一級差分腔（7），密閉的二級差分腔（8）；

無光窗式真空紫外燈（1）安裝固定于一級差分腔（7）外壁上，其出光口（12）伸入一級差分腔（7）內部；

一級差分腔（7）與二級差分腔（8）的一側壁面相貼接。

于一級差分腔（7）與二級差分腔（8）的相貼接的壁面上分別開設有對應的通孔；一圓筒形差分口（11）置于一級差分腔（7）與二級差分腔（8）的通孔內，一級差分腔（7）與二級差分腔（8）通過圓筒形差分口（11）相連通；無光窗式真空紫外燈（1）發出的真空紫外光穿過圓筒形差分口（11）的中心通孔進入到二級差分腔中；

于一級差分腔（7）與二級差分腔（8）上分別設有一氣體出口；

在二級差分腔（8）的內部、圓筒形差分口（11）的下方、沿真空紫外光（12）出射方向依次設置有離子推斥電極（14）、離子傳輸電極（10）和離子引出電極（9），于離子推斥電極（14）、離子傳輸電極（10）和離子引出電極（9）之間分別設置有絕緣密封環（13）阻隔；

離子推斥電極（14）、離子傳輸電極（10）、離子引出電極（9）及絕緣密封環（13）相互間隔、平行；

圓筒形差分口（11）、離子推斥電極（14）、離子傳輸電極（10）、離子引出電極（9）均沿無光窗式真空紫外燈（1）的光軸同軸設置；

一進樣毛細管（6）穿過二級差分腔（8）的外壁伸入進二級差分腔（8）的內部，進樣毛細管（6）的氣體出口設置于離子推斥電極（14）和離子傳輸電極（10）之間相互間隔的區域；

于遠離離子傳輸電極（10）的離子引出電極（9）一側的二級差分腔（8）壁面上開設有通孔，于二級差分腔（8）壁面外、靠近通孔處設置有一質量分析器（22）。

2.根據權利要求1所述無光窗式真空紫外燈質譜電離源，其特征在于：無光窗式真空紫外燈（1）為氣體放電的無光窗式真空紫外燈（1）；于無光窗式真空紫外燈（1）外壁上設置有氣體入口（2），氣體入口（2）通過管路與一進氣閥（3）相連，放電氣體通過進氣閥（3）的另一端進入無光窗式氣體放電燈（1）的內部，并由出光口（12）流出。

3.根據權利要求1所述無光窗式真空紫外燈質譜電離源，其特征在于：離子推斥電極（14）、離子傳輸電極（10）和離子引出電極（9）均為板式結構，中心部位設置有通孔，其中，離子傳輸電極（10）為1塊或2塊以上相互間隔、同軸、平行設置的板式結構；

離子推斥電極（14）、離子傳輸電極（10）和離子引出電極（9）的通孔均處于真空紫外光的光束的光路上；真空紫外光的光束平行于電極軸線方向穿過各電極通孔的中心區域。

4.根據權利要求1所述無光窗式真空紫外燈質譜電離源，其特征在于：圓筒形差分孔（11）的上出口與一級差分腔（7）相連通，下出口與二級差分腔（8）相連通，圓筒形差分孔（11）的內徑為1-15mm。

5.根據權利要求1所述無光窗式真空紫外燈質譜電離源，其特征在于：于一級差分腔（7）外壁上設置有氣體出口，氣體出口通過真空管路與一側抽閥門A（18）相連，于側抽閥門A（18）的另一端通過真空管路連接有機械泵A（4）；

于二級差分腔（8）外壁上設置有氣體出口，氣體出口通過真空管路與一側抽閥門B（17）相連，于側抽閥門B（17）的另一端通過真空管路連接有機械泵B（21）。

6.根據權利要求5所述無光窗式真空紫外燈質譜電離源，其特征在于：通過側抽閥門A（18）和側抽閥門B（17）的調節，控制一級差分腔（7）和二級差分腔（8）內的氣壓分別在10-200Pa和1-100Pa。

7.根據權利要求1或5所述無光窗式真空紫外燈質譜電離源，其特征在于：

于一級差分腔（7）外壁上開有通孔、通過真空管路連接有真空規A（16）；

于二級差分腔（8）外壁上開有通孔、通過真空管路連接有真空規B（15）。