[發明專利]一種可自動穩定擋板位置的靜電驅動可變光衰減器

有效

• 申請號: 201210508549.2
• 申請日: 2012-12-03
• 公開（公告）號: CN102998745A
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發明（設計）人: 秦明;匡蕾;陳升齊
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G02B6/26
• 分類號: G02B6/26;G02B26/08
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種可自動穩定擋板位置的靜電驅動可變光衰減器，其特征在于，該靜電驅動可變光衰減器包括擋板（1）、活動梳齒（2）、兩側沿縱向彎折的彈簧（3）、兩個第一錨區（4）、固定梳齒電極（5）、兩個活動梳齒電極（6）、光纖槽固定框（7）、固定梳齒（8）、兩個應變電阻（9）、兩個應變電極（10）、襯底（11）和第二錨區（12）；?

光纖槽固定框（7）、第一錨區（4）、第二錨區（12）和應變電阻（9）分別固定連接在襯底（11）上，且應變電阻（9）和第一錨區（4）之間設有絕緣層；光纖槽固定框（7）圍成光纖槽（13），擋板（1）嵌在光纖槽（13）中，擋板（1）的一端固定連接在活動梳齒（2）的一側；每個第一錨區（4）的頂面設有一個活動梳齒電極（6），每個應變電阻（9）的頂面設有一個應變電極（10）；彈簧（3）的兩側分別與一個應變電阻（9）連接，且彈簧（3）的中部與活動梳齒（2）固定連接；第二錨區（12）的一側設有固定梳齒（8），固定梳齒（8）和活動梳齒（2）交替布置，第二錨區（12）的頂面設有一個固定梳齒電極（5）。?

2.按照權利要求1所述的可自動穩定擋板位置的靜電驅動可變光衰減器，其特征在于，還包括反饋驅動電路，該反饋驅動電路包括電流源（C1）、電位器（W）、第一電阻（R1）、第二電阻（R2）、輸出電阻（Rc）、應變電阻（9）、放大器（A）和三極管（Q），電流源（C1）和應變電阻（9）構成電橋的一個邊，電位器（W）和第一電阻（R1）構成電橋的另一邊，該電橋兩邊的輸出端接放大器（A），放大器（A）輸出控制三極管（Q）導通狀態，三極管（Q）的基極與放大器（A）輸出端之間連接第二電阻（R2），三極管（Q）的發射極接地，三極管（Q）的集電極和電源之間接輸出電阻（Rc），輸出電阻（Rc）的兩端接活動梳齒電極（6）和固定梳齒電極（5）。?

3.按照權利要求1所述的可自動穩定擋板位置的靜電驅動可變光衰減器，其特征在于，所述的擋板（1）、活動梳齒（2）、彈簧（3）、第一錨區（4）、光纖槽固定框（7）和第二錨區（12）為同一種導電材料制成。?

4.按照權利要求1所述的可自動穩定擋板位置的靜電驅動可變光衰減器，其特征在于，所述的固定梳齒電極（5）、活動梳齒電極（6）和應變電極（10）為同一種金屬材料制成。?

5.按照權利要求1所述的可自動穩定擋板位置的靜電驅動可變光衰減器，其特征在于，所述的襯底（11）上設有凹槽，凹槽位于光纖槽（13）、擋板（1）、活動梳齒（2）和彈簧（3）的下方。?