[發(fā)明專利]一種壓力傳感器及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210506213.2
• 申請日: 2012-11-30
• 公開（公告）號: CN102998031A
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孫廣;朱宗恒
• 申請（專利權(quán)）人: 蕪湖通和汽車管路系統(tǒng)有限公司
• 主分類號: G01L1/00
• 分類號: G01L1/00
• 代理公司: 蕪湖安匯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34107
• 代理人: 馬榮

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于壓力傳感器領(lǐng)域，更為具體的說，本發(fā)明涉及一種壓力傳感器，另外本發(fā)明還涉及上述壓力傳感器的制造方法。

背景技術(shù)

壓力傳感器是工業(yè)實踐、儀器儀表控制中最為常用的一種傳感器，并廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境，目前壓力傳感器殼體的空腔內(nèi)除了設(shè)置傳感器芯體、基板和電子元器件等，其余都是空的，這樣就存在以下的缺點：1、傳感器內(nèi)部電子元器件長期接觸空氣氧化，元器件的性能降低，導致傳感器的長期可靠性和穩(wěn)定性不好；2、對一些發(fā)熱的元器件，如限流電阻，穩(wěn)壓管等元器件，工作的過程中有熱量產(chǎn)生，而在傳感器狹小密封的空間中，熱量得不到及時散發(fā)，影響傳感器的性能，甚至可能燒毀傳感器；3、傳感器應(yīng)用于可能具有腐蝕性氣體或潮濕環(huán)境下，長時間使用會傳感器內(nèi)部受潮或受到腐蝕，影響傳感器的使用。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的問題是，針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡單、可長期可靠穩(wěn)定使用的壓力傳感器。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采取的技術(shù)方案為：

本發(fā)明所提供的這種壓力傳感器，包括殼體、放置在殼體內(nèi)的密封圈、基板和傳感器芯體和塑料件，在所述的殼體內(nèi)的基板之間還設(shè)有凝膠，所述的凝膠充滿殼體內(nèi)空腔。

在所述的殼體內(nèi)還設(shè)有導管。

在所述的殼體內(nèi)還設(shè)有插針和電子元件。

所述的凝膠是硅膠。

為了實現(xiàn)與上述技術(shù)方案相同的目的，本發(fā)明還提供了以上所述的壓力傳感器的制造方法，其具體技術(shù)方案是該制造方法的工藝流程：

所述的制造方法的工藝流程是：

a）、將傳感器芯體黏結(jié)在基板芯片焊盤上，并用綁定線綁定到基板焊盤，其余電子元器件焊接到基板上；

b）、將導管插入到基板過孔中并固定，且使得導管和傳感器芯體空腔導通；

c）、將密封圈和基板依次放入到殼體中，然后將殼體放入到工裝中并壓住殼體，確保殼體底部的基板穩(wěn)定壓住密封圈；

d）、向殼體空腔內(nèi)注入凝膠，使得殼體空腔內(nèi)充滿凝膠，這樣形成半成品；

e）、將半成品整體放入到真空箱中抽取真空，使得各基板之間的空氣釋放出來；

f）、抽取真空結(jié)束后將半成品放入到高溫箱中固化凝膠，溫度設(shè)置在120℃~140℃，持續(xù)時間是1.5~2.5小時；

g）、半成品高溫后放在常溫下冷卻，冷卻后將基板、塑料件、插針焊接并測試半成品的電信號是否正常；

h）、測試電信號正常后對半成品傳感器進行滾邊，滾邊壓力根據(jù)殼體材料來定，不銹鋼材料的殼體滾邊壓力為8MPa;

i）、滾邊結(jié)束后進行調(diào)試和校準，在常溫下調(diào)試，同時在高溫和低溫下校準，高溫溫度設(shè)置在100℃~110℃之間，低溫溫度設(shè)置在-15℃~-25℃之間。

采用上述技術(shù)方案，結(jié)構(gòu)簡單，在殼體內(nèi)空腔內(nèi)充滿凝膠，使得傳感器內(nèi)部的電子元件隔離了空氣，減少了氧化，使得傳感器能長期可靠穩(wěn)定的使用，同時在殼體內(nèi)設(shè)有導管，可以使得傳感器內(nèi)部的熱量得到快速散發(fā)，延長了傳感器的使用壽命，另外制造方法簡單，便于生產(chǎn)。

附圖說明

下面對本說明書各幅附圖所表達的內(nèi)容及圖中的標記作簡要說明：

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中標記為：

1、殼體，2、密封圈，3、基板，4、插針，5、塑料件，6、傳感器芯體，7、凝膠，8、電子元件，9、導管。

具體實施方式

如圖1所示，本發(fā)明所提供的這種壓力傳感器，包括殼體1、放置在殼體1內(nèi)的密封圈2、基板3和傳感器芯體6和塑料件5，在殼體1內(nèi)的基板3之間還設(shè)有凝膠7，凝膠7充滿殼體1內(nèi)空腔。

采用上述技術(shù)方案，這種壓力傳感器，結(jié)構(gòu)簡單，在殼體1內(nèi)的基板3之間設(shè)有凝膠7，使得凝膠7充滿殼體1內(nèi)的空腔，這樣可以使得傳感器內(nèi)部的電子元件8避免了長期接觸空氣被氧化，傳感器能長期穩(wěn)定的使用。

如圖1所示，在殼體1內(nèi)還設(shè)有導管9。

在殼體1內(nèi)還設(shè)有插針4和電子元件8。

采用上述技術(shù)方案，可以使得傳感器內(nèi)部發(fā)熱元件產(chǎn)生的熱量得到快速散發(fā)，延長了壓力傳感器的使用壽命。

如圖1所示，?凝膠7為硅膠。

采用上述技術(shù)方案，硅膠是一種高活性吸附材料，屬非晶態(tài)物質(zhì)，不溶于水和任何溶劑，無毒無味，化學性質(zhì)穩(wěn)定，除強堿、氫氟酸外不與任何物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。硅膠具有吸附性能高、熱穩(wěn)定性好、化學性質(zhì)穩(wěn)定、有較高的機械強度等優(yōu)點，因此這種傳感器即使在潮濕或腐蝕性強的環(huán)境下也能長期可靠和穩(wěn)定的使用。