[發明專利]液晶顯示裝置、多晶硅陣列基板及制作方法有效
| 申請號: | 201210505247.X | 申請日: | 2012-11-30 |
| 公開(公告)號: | CN103018974A | 公開(公告)日: | 2013-04-03 |
| 發明(設計)人: | 辛燕霞;樸承翊;楊玉清;石天雷;楊慧光 | 申請(專利權)人: | 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號: | G02F1/1343 | 分類號: | G02F1/1343;G02F1/1362;G02F1/1368;H01L21/77 |
| 代理公司: | 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
| 地址: | 100015 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 液晶 顯示裝置 多晶 陣列 制作方法 | ||
1.一種多晶硅陣列基板,包括多晶硅TFT,其特征在于,還包括:與所述多晶硅TFT的有源層同層設置的像素電極,與所述多晶硅TFT的柵極同層設置的公共電極,所述公共電極與所述像素電極相對設置,所述公共電極和像素電極兩者中位于上方的電極為狹縫狀電極。
2.根據權利要求1所述的陣列基板,其特征在于,所述多晶硅TFT為頂柵型TFT,所述公共電極為狹縫狀電極。
3.根據權利要求1所述的陣列基板,其特征在于,所述多晶硅TFT為底柵型TFT,所述像素電極為狹縫狀電極。
4.根據權利要求1所述的陣列基板,其特征在于,所述公共電極上方或下方設置有與所述公共電極接觸的公共電極線。
5.根據權利要求1所述的陣列基板,其特征在于,所述源電極及所述漏電極的厚度為
6.一種液晶顯示裝置,其特征在于,包括權利要求1-5任一項所述的陣列基板。
7.一種陣列基板的制作方法,其特征在于,包括:
形成多晶硅有源層和像素電極;
形成柵極絕緣層;
形成柵極和公共電極;
形成有源層摻雜區域;
形成源電極用孔,漏電極用孔以及像素電極過孔;
形成源電極及漏電極,所述漏電極與所述像素電極通過所述像素電極過孔相連接。
8.根據權利要求7所述的陣列基板的制作方法,其特征在于,還包括在所述基板上形成緩沖層。
9.根據權利要求7所述的陣列基板的制作方法,其特征在于,所述公共電極上方或下方設置有與所述公共電極接觸的公共電極線。
10.根據權利要求7所述的陣列基板的制作方法,其特征在于,在形成所述源電極及所述漏電極之后,還包括:形成鈍化層,通過一次構圖工藝形成外圍連接孔。
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