[發明專利]三維界面應力傳感器有效
| 申請號： | 201210501846.4 | 申請日： | 2012-11-29 |
| 公開（公告）號： | CN102980691A | 公開（公告）日： | 2013-03-20 |
| 發明（設計）人： | 呂曉洲 | 申請（專利權）人： | 西安電子科技大學 |
| 主分類號： | G01L1/14 | 分類號： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 陜西電子工業專利中心 61205 | 代理人： | 王品華;朱紅星 |
| 地址： | 710071*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 三維 界面 應力 傳感器 | ||
1.一種三維界面應力傳感器，包括頂層（1）、驅動電極（2）、中間層（3）、感應電極（4）和底層（5），其特征在于：?
所述的驅動電極（2），耦合于頂層（1）的下表面；?
所述的中間層（3），由四個分隔柱（31、32、33，34）組成，這四個分隔柱固定在頂層（1）與底層（5）之間；?
所述的感應電極（4），由Z向感應電極（41）、X向感應電極（42）和Y向感應電極（43）組成，Z向感應電極（41）耦合于底層（5）上表面的中心位置；X向感應電極（42）和Y向感應電極（43）分別耦合于底層（5）上表面的兩條相鄰的邊上，且相互垂直。?
2.根據權利要求1所述的三維界面應力傳感器，其特征在于頂層（1）和底層（5）為PCB板，形狀為正方形。?
3.根據權利要求1所述的三維界面應力傳感器，其特征在于驅動電極（2）的大小能夠完全覆蓋Z向感應電極（41），部分覆蓋Y向感應電極（42）和Y向感應電極（43）。?
4.根據權利要求1所述的一種三維界面應力傳感器，其特征在于四個分隔柱（31、32、33，34）的形狀為正方體，材料為超彈塑性材料。?
5.根據權利要求1或3所述的三維界面應力傳感器，其特征在于四個分隔柱（31、32、33，34）與頂層（1）下表面和底層（5）上表面的四個角對齊放置。?
6.根據權利要求1所述的三維界面應力傳感器，其特征在于Z向感應電極（41）的形狀為正方形，X向感應電極（42）和Y向感應電極（43）的形狀為長方形。?
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