[發(fā)明專利]脈沖激光體縱波厚度測量系統(tǒng)無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210501113.0 | 申請日: | 2012-11-29 |
| 公開(公告)號: | CN102967281A | 公開(公告)日: | 2013-03-13 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 石一飛;張鷺;李旭東;蔡良續(xù) | 申請(專利權(quán))人: | 中國航空綜合技術(shù)研究所 |
| 主分類號: | G01B17/02 | 分類號: | G01B17/02 |
| 代理公司: | 中國航空專利中心 11008 | 代理人: | 李建英 |
| 地址: | 100028*** | 國省代碼: | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 脈沖 激光 縱波 厚度 測量 系統(tǒng) | ||
1.脈沖激光體縱波厚度測量系統(tǒng),其特征是,厚度測量系統(tǒng)包括脈沖激光器(1)、激光干涉儀(6)、分光鏡(2)、凸透鏡(3)、光電二極管(8)以及電子計算機(jī)(7),分光鏡(2)和凸透鏡(3)依次設(shè)置在同一光路上,光電二極管(8)位于分光鏡的反射光路上接收分光鏡(2)的反射光,光電二極管8輸出的電信號與電子計算機(jī)(7)上的信號采集卡的一個接收端相連,電子計算機(jī)(7)上的信號采集卡的另一接收端與激光干涉儀(6)輸出端相連,脈沖激光器(1)和激光干涉儀(6)對心放置在被測樣品(4)兩側(cè),被測樣品(4)放置在二維平移臺(5)上,脈沖激光器(1)發(fā)出的激光通過凸透鏡(3)聚焦,在被測樣品(4)一側(cè)激發(fā)出高頻超聲體縱波,通過激光干涉儀在被測樣品(4)另一側(cè)對心方向接收直達(dá)的超聲體縱波,電子計算機(jī)(7)得到超聲體縱波在被測樣品(4)中傳播的時間,與電子計算機(jī)(7)中設(shè)置的被測樣品(4)的聲速相乘,實現(xiàn)被測樣品(4)的厚度測量。
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