[發明專利]射頻信號相位可調節的射頻電源

有效

• 申請號: 201210497318.6
• 申請日: 2012-11-28
• 公開（公告）號: CN103855910A
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發明（設計）人: 李勇滔;李英杰;夏洋;王文東
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: H02M1/00
• 分類號: H02M1/00;H05H1/46
• 代理公司: 北京華沛德權律師事務所 11302
• 代理人: 劉麗君

1.射頻信號相位可調節的射頻電源，所述射頻電源包括射頻信號發生器、射頻功率放大電路、供電線路和射頻功率檢測器，其特征在于：所述射頻信號發生器包括相位調節電路，所述相位調節電路用于調節外輸入射頻信號的相位。

2.根據權利要求1所述的射頻電源，其特征在于：所述射頻信號發生器還包括外部信號輸入接口、信號選擇電路、信號發生器、射頻信號輸出接口和信號驅動電路，所述外部信號輸入接口與所述信號選擇電路相連；

其中，所述外部信號輸入接口用于接收來自其他信號源或射頻電源的外部輸入信號；

所述信號選擇電路用于判斷是否有外部輸入信號；當所述信號選擇電路判斷出有外部輸入信號，則將外部輸入信號發送至所述相位調節電路；當所述信號選擇電路判斷出沒有外部輸入信號，則使能所述信號發生器，啟動所述信號發生器產生頻率信號，并將所述頻率信號輸送至所述射頻信號輸出接口以及所述信號驅動電路；

所述相位調節電路用于調節外輸入射頻信號的相位，并且將已調節相位的射頻信號輸送至所述信號驅動電路；

所述信號驅動電路將接收到的射頻信號進行驅動放大，輸出可推動所述射頻功率放大電路工作的射頻信號。

3.根據權利要求2所述的射頻電源，其特征在于：所述相位調節電路包括電位器R1和可變電容器C1，所述電位器R1的一端接入外部輸入信號，所述電位器R1的另一端與所述可變電容器C1的一端相連，所述可變電容器C1的另一端接地；所述電位器R1和所述可變電容器C1連接端輸出已調節相位差的射頻信號。

4.根據權利要求3所述的射頻電源，其特征在于：所述電位器R1的最大阻值范圍為100Ω～100KΩ，所述可變電容器C1的最大容值范圍為10pF～1000pF。

5.根據權利要求2所述的射頻電源，其特征在于：所述相位調節電路包括電感L1、可變電容器C1、可變電容器C2和電位器R1，所述電位器R1的一端接入外部輸入信號，所述電位器R1另一端與所述可變電容器C1的一端相連，所述可變電容器C1的另一端接地；所述電感L1的一端與所述電位器R1和所述可變電容器C1的連接端相連，所述電感L1的另一端與所述可變電容器C2的一端相連，所述可變電容器C2的另一端接地；所述電感L1和所述可變電容器C2連接端輸出已調節相位差的射頻信號。

6.根據權利要求5所述的射頻電源，其特征在于：所述電感L1取值為1μH～10μH，所述電位器R1的最大阻值范圍為100Ω～100KΩ，所述可變電容器C1的最大容值范圍為10pF～1000pF，所述可變電容器C2的最大容值范圍為10pF～1000pF。

7.根據權利要求2所述的射頻電源，其特征在于：所述相位調節電路包括電感L1、固定電容器C3、可變電容器C2和電位器R1，所述電位器R1的一端接入外部輸入信號，所述電位器R1另一端與所述固定電容器C3的一端相連，所述固定電容器C3的另一端接地；所述電感L1的一端與所述電位器R1和所述固定電容器C3的連接端相連，所述電感L1的另一端與所述可變電容器C2的一端相連，所述可變電容器C2的另一端接地；所述電感L1和所述可變電容器C2連接端輸出已調節相位差的射頻信號。

8.根據權利要求7所述的射頻電源，其特征在于：所述電感L1取值為1μH～10μH，所述電位器R1的最大阻值范圍為100Ω～100KΩ，所述固定電容器C3的容值范圍為10pF～1000pF，所述可變電容器C2的最大容值范圍為10pF～1000pF。