[發(fā)明專利]一種用于室內(nèi)微觀驅(qū)油模型的制作工藝

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210496465.1
• 申請日: 2012-11-29
• 公開（公告）號(hào): CN102979516A
• 公開（公告）日: 2013-03-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張瑞;秦妮;彭林;周金位;葉仲斌
• 申請（專利權(quán)）人: 西南石油大學(xué)
• 主分類號(hào): E21B49/00
• 分類號(hào): E21B49/00;E21B43/27
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于室內(nèi)微觀驅(qū)油模型的制作工藝，其特征在于：先將玻璃基底片（1）正反兩面拋光，放于70g濃硫酸與30g雙氧水組成的混合溶液中煮沸1~2h，用超聲波清水清洗玻璃基底片（1），接著用氮?dú)鈱⒉ＡЩ灼?）正反兩面水分吹干，放置在烤膠板上，在溫度為110~180℃烘烤8~15min；在玻璃基底片（1）上旋涂一層增粘劑（2），增粘劑是用德國ALLRESISTAP300-80，然后把玻璃基底片（1）放置在烤膠板上，溫度設(shè)為110~180℃烘烤1~5min，形成光滑的納米薄膜；再繼續(xù)在玻璃基底片（1）上旋涂一層光刻膠（3），光刻膠是德國ALLRESISTAP-P?3200，再將玻璃基底片（1）放置在烤膠板上，溫度為90~100℃，烘烤8~15min；將油藏圖片轉(zhuǎn)化為黑白圖片，將要光刻的部分轉(zhuǎn)為白色，其余背景轉(zhuǎn)為黑色，然后導(dǎo)入光刻軟件，將玻璃基底片（1）在紫外光下曝光30~60s，放置在顯影液中顯影液1~3min，顯影液是用德國ALLRESIST?AP?300-26，然后將顯影后的玻璃基底片（1）用氮?dú)獯蹈桑胖迷诳灸z板上，溫度設(shè)為98~115℃，烘烤10~20min；用石蠟封住玻璃基底片（1）上除曝光外的其他區(qū)域，放入含25gHF、1.79gNH4F和75g去離子水的腐蝕液中腐蝕120~180s，取出玻璃基底片（1）用去離子水沖洗干凈；刮去玻璃基底片（1）表面上的石蠟，并用煤油清除殘余石蠟，用去膠液將玻璃基底片（1）表面的光刻膠清洗干凈，去膠液用德國ALLRESIST?AP?300-72，接著把玻璃基底片（1）放入70g濃硫酸與30g雙氧水組成的混合溶液煮沸1~2h，用去離子水將玻璃基底片（1）清洗干凈；將玻璃基底片刻蝕的一面與另一塊干凈拋光的玻璃基底片（1）疊放，然后將他們夾在兩塊云母片中間，使玻璃基底片與云母片緊貼，水平放置在馬弗爐中，并在云母片上方壓一塊鐵塊，設(shè)置馬弗爐溫度為600~640℃，燒結(jié)30~60min；最后將燒結(jié)好的玻璃基底片（1），用磨槽機(jī)在玻璃基底片刻蝕圖像的兩端打磨溝槽形成出入通道，用不銹鋼毛細(xì)管分別通入出口和入口，制作成微觀驅(qū)油模型。