[發明專利]一種鎢硅合金靶材的制備方法無效
| 申請號： | 201210495701.8 | 申請日： | 2012-11-28 |
| 公開（公告）號： | CN103056368A | 公開（公告）日： | 2013-04-24 |
| 發明（設計）人： | 白鋒;于洋;賴亞洲;彭福生;莊志剛;宋久鵬;石濤;劉盈霞 | 申請（專利權）人： | 廈門虹鷺鎢鉬工業有限公司 |
| 主分類號： | B22F3/16 | 分類號： | B22F3/16 |
| 代理公司： | 廈門市首創君合專利事務所有限公司 35204 | 代理人： | 連耀忠 |
| 地址： | 361021 福建省*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 合金 制備 方法 | ||
1.一種鎢硅合金靶材的制備方法，其特征在于：包括如下步驟：
（1）將鎢粉、硅粉和成形劑充分混合，得到鎢硅合金粉末；
（2）將步驟（1）所得鎢硅合金粉末冷壓得預成形坯；
（3）將步驟（2）所得預成形坯進行真空熱壓成形，冷卻后得燒結毛坯；
（4）將步驟（3）的燒結毛坯切割后即得鎢硅合金靶材。
2.如權利要求1所述的一種鎢硅合金靶材的制備方法，其特征在于：所述鎢粉的費氏平均粒度為1.0μm~10.0μm，純度為99.999%；所述硅粉的費氏平均粒度為20μm~100μm，純度為99.999%。
3.如權利要求2所述的一種鎢硅合金靶材的制備方法，其特征在于：所述步驟（1）為：按5~9:4.5~1的重量比稱取鎢粉和硅粉，加入成形劑后，送入V形混料器中，在氬氣氣氛下以10r/min~20r/min的速度混合10~20小時。
4.如權利要求3所述的一種鎢硅合金靶材的制備方法，其特征在于：所述成形劑為精煉石蠟，其加入量為鎢粉和硅粉總質量的1%~5%。
5.如權利要求4所述的一種鎢硅合金靶材的制備方法，其特征在于：所述成形劑為精煉石蠟，其加入量為鎢粉和硅粉總質量的2.5%~3.5%。
6.如權利要求1所述的一種鎢硅合金靶材的制備方法，其特征在于：所述步驟（3）為將步驟（2）所得預成形坯先加熱至成形劑揮發溫度，并保溫至成形劑揮發，再加熱至硅的熔融溫度并加壓使產品成形，隨爐冷卻后得燒結毛坯。
7.如權利要求6所述的一種鎢硅合金靶材的制備方法，其特征在于：所述成形劑為精煉石蠟，其會揮發溫度為500~550℃。
8.如權利要求6所述的一種鎢硅合金靶材的制備方法，其特征在于：所述硅的熔融溫度為1400~1550℃。
9.如權利要求5所述的一種鎢硅合金靶材的制備方法，其特征在于：所述加壓為加壓至30~50MPa。
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