[發明專利]一種倒角設備的送料機構

有效

• 申請號: 201210495683.3
• 申請日: 2012-11-28
• 公開（公告）號: CN102976123A
• 公開（公告）日: 2013-03-20
• 發明（設計）人: 耿輝;雷海云;張雪囡;古元甲;劉順玲;邢玉軍
• 申請（專利權）人: 天津市環歐半導體材料技術有限公司
• 主分類號: B65H1/08
• 分類號: B65H1/08;B65H3/04
• 代理公司: 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211
• 代理人: 李莉華

技術領域

本發明屬于半導體材料生產技術領域，尤其是涉及一種倒角設備的送料機構。

背景技術

半導體材料的加工都需要用到倒角設備，現有的技術中倒角設備的送料機構一般均采用單盒送料方式，料盒內的硅片送到輸送帶的方法是：料盒下降一個間距，間距大小與料盒每層間距有關，提前測量出來，把數據輸入觸摸屏；電容式接近開關檢測確認硅片是否到位，如果未到位，則再下降一個間距，如果到位，輸送帶運轉，將硅片送出。該上料方式存在以下問題：硅片送到輸送帶上的精度較低，其原因有：精度受硅片盒層間距的影響、受片盒外形尺寸影響、受硅片形狀影響、同時還受電容式接近開關特性的影響，電容式近接開關在檢測硅片時，由于諸多因素，檢測精度大約在2mm左右，精度低了，容易出現硅片輸送不暢快、硅片損壞、需要人為干預機率較多等問題，使得人工上料頻繁，如操作人員同時操作多臺設備，還容易出現上料不及時的情況。

發明內容

本發明要解決的問題是提供一種能實現多盒在線存儲送料的倒角送料機構。

為解決上述技術問題，本發明采用的技術方案是：一種倒角設備的送料機構，包括料盒、托板、旋轉托架、旋轉電機、導桿、升降臺、滾珠絲杠、步進電機和光纖式光電感應開關，所述料盒有四個，均位于所述托板上，所述料盒上設有所述光纖式光電感應開關，所述托板下設有所述旋轉托架和旋轉電機，所述旋轉托架與所述旋轉電機相連；所述托板下還設有三根所述導桿，所述導桿下端均固定在所述升降臺上，所述升降臺與所述滾珠絲杠通過滾珠螺母連接，所述滾珠絲杠與所述步進電機相連。

進一步，所述料盒呈矩形，每個所述矩形料盒的一邊開有一個傳送口，所述開有傳送口的矩形邊的對邊為底邊，其余兩邊為鄰邊，所述每個料盒的底邊與另一個料盒的鄰邊相鄰，每兩相鄰料盒的傳送口開口方向相差90度。

優選的，所述光纖式光電感應開關為CMOS激光傳感器。

本發明具有的優點和積極效果是：由于采用上述技術方案，能使倒角機實現四料盒送料功能，不受硅片盒層間距的影響、不受片盒外形尺寸影響、不受硅片形狀影響，高精度CMOS激光傳感器都能精確測量硅片是否到位，測量精度誤差<0.2MM，由于精度提高，使得硅片輸送更加暢快，杜絕因為檢測精度低導致的硅片破損問題，大大減少了人為干預機率，從而提高設備精度、設備自動化程度，達到提高生產效率、降低人工成本的目的。

附圖說明

圖1是本發明的結構示意圖

圖中：

1、料盒????????????2、傳送口????????????3、CMOS激光傳感器

4、托板????????????5、旋轉托架??????????6、旋轉電機

7、滾珠絲杠????????8、步進電機??????????9、導桿

10、升降臺

具體實施方式

如圖1所示，本發明包括料盒1、托板4、旋轉托架5、旋轉電機6、導桿9、升降臺10、滾珠絲杠7、步進電機8和光纖式光電感應開關3，料盒1有四個，均位于托板4上。

料盒1呈矩形，每個矩形料盒1的一邊開有一個傳送口2，開有傳送口2的矩形邊的對邊為底邊，其余兩邊為鄰邊，每個料盒1的底邊與另一個料盒1的鄰邊相鄰，每兩相鄰料盒1的傳送口2開口方向相差90度。

料盒1上還設有CMOS激光傳感器3，托板4下設有旋轉托架5和旋轉電機6，旋轉托架5與旋轉電機6相連；托板4下還設有三根導桿9，導桿9下端均固定在升降臺10上，升降臺10與滾珠絲杠7通過滾珠螺母連接，滾珠絲杠7與所述步進電機8相連。

本實例的工作過程：將四個硅片料盒1放到托板4上，其中一個料盒1對準輸送皮帶線，首先旋轉電機6將料盒1精確旋轉到上料位置，定位精度誤差<0.09度，重復精度誤差=0，旋轉定位后，步進電機8驅動滾珠絲杠7傳動，由升降臺10帶動導桿9、旋轉托架5、托板4使料盒1連續下降，高精度CMOS激光傳感器3檢測確認硅片是否到位，到位后減速下行，穩當、精確放到輸送帶上，輸送帶運轉，將硅片送出，直至此料盒1的硅片全部送出；當工作位料盒1取空后，CMOS激光傳感器3發出信號，將托板4上升至高位，此時旋轉電機6將托板4旋轉90°，將另一個料盒1旋轉至工作位，繼續下降輸送硅片；如此反復，直至四個料盒1全部取空后，發出報警信號，提示操作人員更換料盒1。

另外，本發明還設置了料盒安全開關4個，確保料盒由于某種意外原因導致傾斜時停機報警，以有效地保護盒中硅片。