[發(fā)明專(zhuān)利]大型空間環(huán)境模擬器清潔真空抽氣系統(tǒng)及抽氣方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210495666.X
• 申請(qǐng)日: 2012-11-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102966518A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-03-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 茹曉勤;楊瑞洪;董雷;詹海洋;李強(qiáng);王軍偉;古成
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所
• 主分類(lèi)號(hào): F04B41/06
• 分類(lèi)號(hào): F04B41/06;F04B49/02
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.大型空間環(huán)境模擬器清潔真空抽氣系統(tǒng)，其為不使用泵油作為直接工作介質(zhì)的清潔抽氣設(shè)備，包括設(shè)置在大型空間環(huán)境模擬器上分別通過(guò)高真空閥門(mén)與容器隔離的粗抽系統(tǒng)、磁懸浮分子泵系統(tǒng)和低溫泵系統(tǒng)，粗抽系統(tǒng)包括若干套并聯(lián)的粗抽機(jī)組，每套粗抽管路由用于半導(dǎo)體行業(yè)的無(wú)油干泵羅茨泵機(jī)組構(gòu)成，粗抽系統(tǒng)與大型空間模擬器之間的管路上設(shè)置有真空測(cè)量裝置，通過(guò)PLC及上位計(jì)算機(jī)對(duì)真空抽氣全過(guò)程進(jìn)行自動(dòng)控制和測(cè)量以實(shí)現(xiàn)大型空間環(huán)境模擬器高真空的獲得；其中，磁懸浮分子泵系統(tǒng)和低溫泵系統(tǒng)與大型空間環(huán)境模擬器的連接管路上分別設(shè)置有真空閥門(mén)和真空測(cè)量裝置，磁懸浮分子泵系統(tǒng)由半導(dǎo)體行業(yè)用的磁懸浮分子泵和無(wú)油干泵機(jī)組組成；低溫泵系統(tǒng)采用制冷機(jī)低溫泵作為主泵，其前級(jí)采用磁懸浮分子泵和無(wú)油干泵機(jī)組。

2.如權(quán)利要求1所述的大型空間環(huán)境模擬器清潔真空抽氣系統(tǒng)，其中，所述無(wú)油干泵均指抽真空設(shè)備泵腔內(nèi)不含真空泵油，但軸承潤(rùn)滑仍需要油潤(rùn)滑的真空泵。

3.如權(quán)利要求1所述的大型空間環(huán)境模擬器清潔真空抽氣系統(tǒng)，其中，所述真空測(cè)量裝置為真空規(guī)，測(cè)量范圍根據(jù)使用需求不同采用不同種類(lèi)的測(cè)量裝置，范圍10⁵Pa～5×10^-8Pa。

4.如權(quán)利要求1所述的大型空間環(huán)境模擬器清潔真空抽氣系統(tǒng)，其中，所述高真空閥門(mén)為可用于高真空環(huán)境下的任何種類(lèi)閥門(mén)或具有隔斷真空抽氣設(shè)備與容器功能的隔斷裝置。

5.如權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的大型空間環(huán)境模擬器清潔真空抽氣系統(tǒng)，其中，所述大型空間環(huán)境模擬器為容積為70m³以上的模擬器。

6.一種利用權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的真空抽氣系統(tǒng)對(duì)大型空間環(huán)境模擬器清潔抽氣工藝，包括以下步驟：

1）啟動(dòng)粗抽系統(tǒng)對(duì)容器抽氣，在容器內(nèi)壓力降低到接近能夠防止粗抽系統(tǒng)對(duì)容器可能造成油污染的最低壓力值P₀時(shí)，停止粗抽系統(tǒng)對(duì)容器抽氣；

2）預(yù)冷低溫泵系統(tǒng)，使用無(wú)油干泵對(duì)低溫泵泵腔進(jìn)行抽氣，在低溫泵內(nèi)壓力降低到接近能夠防止前級(jí)干泵對(duì)低溫泵泵體可能造成油污染的最低壓力值P₀時(shí)，啟動(dòng)分子泵對(duì)低溫泵系統(tǒng)進(jìn)行抽氣，使低溫泵泵體內(nèi)壓力達(dá)到低溫泵的預(yù)冷壓力值；

3）啟動(dòng)分子泵系統(tǒng)對(duì)容器抽氣，以達(dá)到低溫泵系統(tǒng)的啟動(dòng)壓力，壓力值根據(jù)不同低溫泵系統(tǒng)的技術(shù)參數(shù)確定；?

4）啟動(dòng)低溫泵系統(tǒng)對(duì)容器抽氣，保持容器內(nèi)壓力低于6.65×10^-3?Pa至實(shí)驗(yàn)結(jié)束。

7.如權(quán)利要求6所述的方法，其中，整個(gè)抽氣過(guò)程可全自動(dòng)化控制。