技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種帶振動補償?shù)膲鹤枋綁毫鞲衅鳌?/p>

背景技術(shù)

傳統(tǒng)的機(jī)械量壓力傳感器是基于金屬彈性體受力變形，由機(jī)械量彈性變形到電量轉(zhuǎn)換輸出，但體積大成本高。相對于傳統(tǒng)的機(jī)械量傳感器，MEMS壓力傳感器的尺寸更小，最大的不超過一個厘米，相對于傳統(tǒng)“機(jī)械”制造技術(shù)，其性價比大幅度提高。目前的MEMS壓力傳感器主要為硅壓阻式壓力傳感器，其采用高精密半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片組成惠斯頓電橋作為力電變換測量電路的，具有較高的測量精度、較低的功耗和極低的成本。惠斯頓電橋的壓阻式傳感器，如無壓力變化，其輸出為零，幾乎不耗電。通常情況下該種壓力傳感器可以準(zhǔn)確測量環(huán)境壓力，但如果環(huán)境產(chǎn)生瞬間振動時，會對半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片產(chǎn)生瞬時沖擊，導(dǎo)致?lián)p壞，進(jìn)一步影響測量精度，亟待改進(jìn)。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本發(fā)明的目的在于提出一種帶振動補償?shù)膲鹤枋綁毫鞲衅鳎ㄟ^本發(fā)明的實施，避免瞬時沖擊對測量精度的影響。

為達(dá)此目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種帶振動補償?shù)膲鹤枋綁毫鞲衅鳎ǎ?/p>

由四個半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片組成的惠斯頓電橋，惠斯頓電橋與控制電路之間連接有電信號濾波器，用于將振動引起的瞬間電壓變化的毛刺濾掉；且每個半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片都通過緩沖墊片安裝在探測外殼上。

優(yōu)選地，所述電信號濾波器為電感電容濾波器。

優(yōu)選地，所述電信號濾波器連接在所述惠斯頓電橋的輸出端或輸入端。

優(yōu)選地，所述緩沖墊片為圓形、矩形或橢圓形。

優(yōu)選地，所述緩沖墊片的材質(zhì)為橡膠。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下有益效果：

本發(fā)明中，通過在半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片與探測器外殼之間增加緩沖墊，減輕環(huán)境振動對其損害，并在測量電路中增加濾波器，將振動引起的瞬間電壓變化的毛刺濾掉，既保證了測量精度，又保護(hù)了半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片，延長了壽命。

發(fā)明附圖

圖1是本發(fā)明實施例1提供的一種帶振動補償?shù)膲鹤枋綁毫鞲衅魇疽鈭D。

具體實施方式

本發(fā)明實施例1提供了一種帶振動補償?shù)膲鹤枋綁毫鞲衅鳎鐖D1所示，包括：由四個半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片1組成的惠斯頓電橋，每個半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片都通過緩沖墊片2安裝在探測外殼10上，惠斯頓電橋的輸出端或輸入端連接有電信號濾波器3，用于將振動引起的瞬間電壓變化的毛刺濾掉，可以為電感電容濾波器。其中，緩沖墊片2可以為圓形、矩形、橢圓形或其他形狀，其材質(zhì)可以為橡膠。

以上所述，僅為本發(fā)明較佳的具體實施方式，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案及其發(fā)明構(gòu)思加以等同替換或改變，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。