[發明專利]一種防腐蝕壓阻式壓力傳感器

無效

• 申請號: 201210495080.3
• 申請日: 2012-11-28
• 公開（公告）號: CN102998049A
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發明（設計）人: 駱垠旭;瞿慶廣;查德昌;楊齊紅;王漢才
• 申請（專利權）人: 安徽?？松萍技瘓F有限公司
• 主分類號: G01L9/06
• 分類號: G01L9/06
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 楊小雙

技術領域

本發明涉及一種防腐蝕壓阻式壓力傳感器。

背景技術

傳統的機械量壓力傳感器是基于金屬彈性體受力變形，由機械量彈性變形到電量轉換輸出，但體積大成本高。相對于傳統的機械量傳感器，MEMS壓力傳感器的尺寸更小，最大的不超過一個厘米，相對于傳統“機械”制造技術，其性價比大幅度提高。目前的MEMS壓力傳感器主要為硅壓阻式壓力傳感器，其采用高精密半導體電阻應變片組成惠斯頓電橋作為力電變換測量電路的，具有較高的測量精度、較低的功耗和極低的成本?；菟诡D電橋的壓阻式傳感器，如無壓力變化，其輸出為零，幾乎不耗電。通常情況下該種壓力傳感器可以準確測量環境壓力，但如果環境中存在腐蝕性物質，會導致半導體電阻應變片損壞，減少其使用壽命，亟待改進。

發明內容

針對現有技術存在的問題，本發明的目的在于提出一種防腐蝕壓阻式壓力傳感器，通過本發明的實施，延長了壓阻式壓力傳感器的使用壽命。

為達此目的，本發明采用以下技術方案：

一種防腐蝕壓阻式壓力傳感器，包括：

由四個半導體電阻應變片組成的惠斯頓電橋，每個半導體電阻應變片都安裝在探測外殼上，并且每個半導體電阻應變片都包覆一層合成樹脂。

優選地，所述合成樹脂的厚度為10-20微米。

優選地，所述合成樹脂的厚度為15微米。

與現有技術相比，本發明具有以下有益效果：

本發明中，在壓阻式傳感器外部包覆一層合成樹脂，利用合成樹脂的防腐蝕特性，保護半導體電阻應變片不受外界環境侵蝕，延長了壓阻式壓力傳感器的使用壽命。

發明附圖

圖1是本發明實施例1提供的一種防腐蝕壓阻式壓力傳感器示意圖；

圖2是本發明實施例1中半導體電阻應變片的剖面圖。

具體實施方式

本發明實施例1提供了一種防腐蝕壓阻式壓力傳感器，如圖1和圖2所示，包括：由四個半導體電阻應變片1組成的惠斯頓電橋，每個半導體電阻應變片都安裝在探測外殼10上，并且每個半導體電阻應變片都包覆一層合成樹脂2，為了不影響半導體電阻應變片的感壓形變靈敏度，合成樹脂的厚度為10-20微米，優選15微米。

以上所述，僅為本發明較佳的具體實施方式，但本發明的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本發明揭露的技術范圍內，根據本發明的技術方案及其發明構思加以等同替換或改變，都應涵蓋在本發明的保護范圍之內。