[發明專利]用于位置確定設備的表面檢測裝置

有效

• 申請號: 201210492061.5
• 申請日: 2006-04-26
• 公開（公告）號: CN102997843B
• 公開（公告）日: 2016-10-26
• 發明（設計）人: 若弗雷·麥克法蘭;凱維恩·巴里·喬納斯
• 申請（專利權）人: 瑞尼斯豪公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 高偉;陸弋

1.一種用于位置確定設備的表面檢測裝置，包括：

探測器本體；

具有檢測工件的觸針尖端的細長觸針；

所述觸針被可互換地連接到所述探測器本體并且被安裝到所述探測器本體以用于縱向位移；

在所述探測器本體中用于測量所述縱向位移的設備；

所述觸針尖端經受橫向位移；

與所述可互換的觸針相關聯的傳感器系統，用于測量所述尖端的所述橫向位移。

2.根據權利要求1所述的表面檢測裝置，其中，用于測量所述觸針尖端的橫向位移的所述傳感器系統至少部分地位于所述可互換的觸針中。

3.根據權利要求2所述的表面檢測裝置，其中，用于測量所述觸針尖端的橫向位移的所述傳感器系統將光束沿著所述可互換的觸針投射到所述傳感器系統的檢測器。

4.根據權利要求3所述的表面檢測裝置，其中，用于測量所述觸針尖端的橫向位移的所述傳感器系統包括在所述觸針尖端處或在所述觸針尖端附近或連接到所述觸針尖端的光學元件，以便經受所述觸針尖端的橫向位移；并且所述光束在所述傳感器系統的所述光學元件與所述檢測器之間投射。

5.根據權利要求3或4所述的表面檢測裝置，其中，用于測量所述觸針尖端的橫向位移的所述傳感器系統的所述檢測器位于所述探測器本體中。

6.根據權利要求3或4或5所述的表面檢測裝置，其中，在所述探測器本體中用于測量所述可互換的觸針的所述縱向位移的設備包括投射到另外的檢測器上的另外的光束。

7.根據權利要求6所述的表面檢測裝置，包括從公共光源得到兩束光束的分光器。

8.根據權利要求1或2所述的表面檢測裝置，其中，在所述探測器本體中用于測量所述可互換的觸針的所述縱向位移的設備包括投射到檢測器上的光束。

9.根據前述權利要求中任一項所述的表面檢測裝置，其中，所述可互換的觸針能夠彎曲，以允許所述觸針尖端的所述橫向位移。

10.根據前述權利要求中任一項所述的表面檢測裝置，其中，所述觸針被安裝在可縱向移動的托架上。

11.根據權利要求10所述的表面檢測裝置，其中，所述托架被安裝成用于在一對平行板簧或隔板上縱向運動。