[發明專利]單晶硅無醇制絨添加劑

無效

• 申請號: 201210489812.8
• 申請日: 2012-11-27
• 公開（公告）號: CN102943307A
• 公開（公告）日: 2013-02-27
• 發明（設計）人: 沈專;林佳繼;趙同榮
• 申請（專利權）人: 韓華新能源（啟東）有限公司
• 主分類號: C30B33/10
• 分類號: C30B33/10;C30B29/06
• 代理公司: 南通市永通專利事務所 32100
• 代理人: 葛雷

技術領域

本發明涉及一種單晶硅制絨添加劑。

背景技術

在單晶硅堿性腐蝕制絨過程中，常用的堿性溶液的主要組分為氫氧化鈉或氫氧化鈉，異丙醇或者乙醇，絨面添加劑如硅酸鈉。

絨面腐蝕原理：絨面硅表面是利用硅的各向異性腐蝕，在（100）硅片表面形成微小的金字塔形的四面方椎體。一般來說，晶面間的共價鍵密度越高，則該晶面族的各晶面連接越牢，也就越難被腐蝕，因此，在該晶面族的垂直方向上腐蝕速度就越慢，而晶面間的共價鍵密度越低，則該晶面越容易被腐蝕。由于（100）晶面上每個原子有兩個懸掛鍵，（111）面的每個原子只有一個懸掛鍵，所以（100）面比（111）的腐蝕速率快。對于硅而言，如果選擇合適的腐蝕液和溫度，（100）面和（111）面腐蝕速率大數十倍以上。因此，（100）硅片的各向異性腐蝕最終導致在表面產生許多密布的表面為（111）面的四面放椎體，形成絨面狀的硅表面。

發明內容

本發明的目的在于提供一種制絨效果好的單晶硅無醇制絨添加劑。

本發明的技術解決方案是：

一種單晶硅無醇制絨添加劑，其特征是：由堿性腐蝕液、非離子表面活性劑、陽離子表面活性劑、無水葡萄糖以及有機鹽組成；其中非離子表面活性劑的量相當于堿性腐蝕液質量的0.01～5%，陽離子表面活性劑的量相當于堿性腐蝕液質量的0.01～0.3%，無水葡萄糖的量相當于堿性腐蝕液質量的0.05～5.5%，有機鹽的量相當于堿性腐蝕液質量的0.5～8%。

所述堿性腐蝕液是質量濃度為0.1～4%的氫氧化鈉溶液。

非離子表面活性劑是含烷基酚聚氧乙烯醚、高碳脂肪醇聚氧乙烯醚、脂肪酸聚氧乙烯酯、聚氧乙烯胺、烷基醇酰胺、乙醇胺、蔗糖酯、失水山梨醇酯、烷基醇酰胺中的一種或者幾種。

陽離子表面活性劑是含脂肪胺鹽、乙醇胺鹽、聚乙烯多胺鹽、季銨鹽型、咪唑啉、嗎啉胍類、三嗪類衍生物中的一種或幾種。

有機鹽是醋酸鈉、溴化四丁基銨、乙酸吡啶鹽、甲基鈉、乙醇鈉中的一種或幾種。

本發明產品使單晶硅片絨面“金字塔”尺寸小，約1～3微米，且增強去污效果，去花籃印，去手指印，能快速有效形成絨面，且與現有生產設備匹配。本發明使溶液中增加“成核”起點，使絨面“金字塔”能夠在硅片表面生長。此無醇添加劑中含有一定量的非離子表面活性劑，陽離子表面活性劑，降低水的表面張力，有效浸潤硅片表面，使制絨后硅片表面干凈，得到合格絨面。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本發明作進一步說明。

圖1是本是經本發明處理的單晶硅絨面外觀照片。

圖2是經本發明處理的單晶硅絨面SEM照片。

具體實施方式

一種單晶硅無醇制絨添加劑，由堿性腐蝕液、非離子表面活性劑、陽離子表面活性劑、無水葡萄糖以及有機鹽組成；其中非離子表面活性劑的量相當于堿性腐蝕液質量的0.01～5%（例0.01%、3%、5%），陽離子表面活性劑的量相當于堿性腐蝕液質量的0.01～0.3%（例0.01%、0.1%、0.3%），無水葡萄糖的量相當于堿性腐蝕液質量的0.05～5.5%（例0.05%、3%、5.5%），有機鹽的量相當于堿性腐蝕液質量的0.5～8%（例0.5%、3%、8%）。

所述堿性腐蝕液是質量濃度為0.1～4%（例0.1%、2%、4%）的氫氧化鈉溶液。

非離子表面活性劑是含烷基酚聚氧乙烯醚（或高碳脂肪醇聚氧乙烯醚、脂肪酸聚氧乙烯酯、聚氧乙烯胺、烷基醇酰胺、乙醇胺、蔗糖酯、失水山梨醇酯、烷基醇酰胺中的一種或者幾種）。

陽離子表面活性劑是含脂肪胺鹽（或乙醇胺鹽、聚乙烯多胺鹽、季銨鹽型、咪唑啉、嗎啉胍類、三嗪類衍生物中的一種或幾種）。

有機鹽是醋酸鈉（或溴化四丁基銨、乙酸吡啶鹽、甲基鈉、乙醇鈉中的一種或幾種）。

使用時，制絨溫度為65～77℃，制絨時間為600～1100秒。