[發明專利]一種防止半導體激光加工機光反饋的方法

無效

• 申請號: 201210487012.2
• 申請日: 2012-11-26
• 公開（公告）號: CN102962582A
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 朱洪波;郝明明;秦莉;王立軍
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: B23K26/00
• 分類號: B23K26/00;B23K26/06;H01S5/40
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 張偉

1.一種防止半導體激光加工機光反饋的方法，該半導體激光加工機包括：同向并列設置的兩個不同波長、同一偏振態的半導體激光疊陣（1，1’），兩個所述半導體激光疊陣（1，1’）分別發出波長為λ₁和λ₂的P或S偏振態激光束；其特征在于，該方法包括以下步驟：

步驟i：在一個所述半導體激光疊陣（1）前設置與光路成45°設置的反射棱鏡（3）；?在另外一個所述半導體激光疊陣（1’）前分別依次設置：與光路成45°設置的波長合束棱鏡（4）和偏振分光棱鏡（5），以及與垂直于光路設置的四分之一波片（6）和聚焦鏡（7）；

步驟ii：一個所述半導體激光疊陣（1）發出的光經過所述反射棱鏡（3）后傳播方向旋轉90°；另外一個所述半導體激光疊陣（1’）發出的光直接入射到所述波長合束棱鏡（4）上，兩束激光通過波長合束棱鏡（4）進行合束；

步驟iii：合束后的光束沿半導體激光疊陣（1，1’）的激光發出方向傳播，通過偏振分光棱鏡（5）和四分之一波片（6）后，經聚焦鏡（7）進行聚焦。

2.根據權利要求1所述的防止半導體激光加工機光反饋的方法，其特征在于，每個所述半導體激光疊陣（1，1’）的激光出口處，還分別設置用來減小快慢軸的發散角的快慢軸準直鏡（2，2’）。

3.根據權利要求2所述的防止半導體激光加工機光反饋的方法，其特征在于，所述快慢軸準直鏡（2，2’）為快軸準直鏡和慢軸準直鏡集成的微透鏡，或者快軸準直鏡和慢軸準直鏡分離的柱面透鏡。

4.根據權利要求1-3任意一項所述的防止半導體激光加工機光反饋的方法，其特征在于，每個所述半導體激光疊陣（1，1’）中的激光器的數量為至少兩個。

5.根據權利要求1-3任意一項所述的防止半導體激光加工機光反饋的方法，其特征在于，每個所述半導體激光疊陣（1，1’）中的激光器的波長為400nm～2000nm。

6.根據權利要求1-3任意一項所述的防止半導體激光加工機光反饋的方法，其特征在于，所述反射棱鏡（3）為鍍有高反膜的反射平板，或斜邊鍍有高反膜的三角棱鏡。

7.根據權利要求1-3任意一項所述的防止半導體激光加工機光反饋的方法，其特征在于，在所述波長合束棱鏡（4）上鍍有波長合束膜；λ₁＜λ₂時，所述波長合束膜為長波通過，短波反射；λ₁＞λ₂時，所述波長合束膜為長波反射，短波通過。

8.根據權利要求1-3任意一項所述的防止半導體激光加工機光反饋的方法，其特征在于，所述波長合束棱鏡（4）由斜面上鍍有波長合束膜、斜面相互膠合的兩個三角棱鏡組成；或者由一面鍍有增透膜，另外一面鍍有波長合束膜的玻璃平板組成。

9.根據權利要求1-3任意一項所述的防止半導體激光加工機光反饋的方法，其特征在于，所述偏振分光棱鏡（5）由斜面相互膠合的兩個三角棱鏡組成，斜面上鍍有偏振分光膜；或者由一面鍍有增透膜，另外一面鍍有偏振分光膜的玻璃平板組成。

10.根據權利要求1-3任意一項所述的防止半導體激光加工機光反饋的方法，其特征在于，所述聚焦鏡（7）為球面透鏡、非球面透鏡或者兩個分離的柱面鏡。