[發明專利]Y型波導激光直寫裝置無效
| 申請號： | 201210485868.6 | 申請日： | 2012-11-26 |
| 公開（公告）號： | CN102981373A | 公開（公告）日： | 2013-03-20 |
| 發明（設計）人： | 張海波;袁志軍;周軍;樓祺洪;魏運榮 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海光學精密機械研究所 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海新天專利代理有限公司 31213 | 代理人： | 張澤純 |
| 地址： | 201800 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 波導 激光 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種Y型波導激光直寫裝置，其特征在于該裝置由激光器（1）、第一柱透鏡（2）、第二柱透鏡（3）、導軌（4）、載物臺（5）和光學玻璃（6）組成，上述各元部件的位置關系如下：
所述的第一柱透鏡（2）和第二柱透鏡（3）的棱的方向相互垂直，所述的激光器（1）輸出的激光入射到第一柱透鏡（2），光束傳輸到位于第一柱透鏡（2）的一倍焦距內的第二柱透鏡（3），第二柱透鏡（3）固定在導軌（4）上并可沿著光束平行方向自由移動，聚焦光束入射到位于載物臺（4）上的光學玻璃（5）。
2.根據權利要求1所述的Y型波導激光直寫裝置，其特征在于所述的激光器（1）是具有高脈沖能量和高光子能量的準分子激光器、倍頻YAG激光器或飛秒激光器。
3.根據權利要求1所述的Y型波導激光直寫裝置，其特征在于所述的第一柱透鏡（2）和第二柱透鏡（3）為熔融石英或氟化鈣晶體材料加工而成的正透鏡。
4.根據權利要求1所述的Y型波導激光直寫裝置，其特征在于所述的導軌（4）的運動的軸向與光束方向平行。
5.根據權利要求1所述的Y型波導激光直寫裝置，其特征在于所述的載物臺（5）為三維可調的平臺。
6.根據權利要求1所述的Y型波導激光直寫裝置，其特征在于所述的光學玻璃（6）為熔融石英或石英玻璃。
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