[發(fā)明專利]壓縮法回收LED制造中廢氨氣再利用的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210485266.0
• 申請日: 2012-11-26
• 公開（公告）號: CN102963910A
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金向華;李荷慶
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州金宏氣體股份有限公司
• 主分類號: C01C1/12
• 分類號: C01C1/12
• 代理公司: 南京眾聯(lián)專利代理有限公司 32206
• 代理人: 周新亞

1.一種壓縮法回收LED制造中廢氨氣再利用的方法，其特征在于：該方法包括以下幾個(gè)步驟：

（1）廢氨氣壓縮與冷凝回收：由MOCVD爐排出的廢氨氣進(jìn)入緩沖罐入口,緩沖罐出氣口與隔膜壓縮機(jī)入口相連通,在-0.05～-0.01Mpa的微負(fù)壓下范圍內(nèi)吸入廢氨氣，通過壓縮機(jī)將廢氨氣壓縮增壓到1.3～1.6Mpa，增壓以后的廢氨氣經(jīng)過過濾器，將廢氨氣中的金屬離子過濾掉，再進(jìn)入冷凝器，經(jīng)0～40℃的冷卻水冷凝為液氨，冷凝的液氨進(jìn)入液氨接收槽，給下道提純作原料，液氨主含量＞98%，冷凝器中不凝氣體由冷凝器排放口排出，進(jìn)入尾氣中和排放塔，從而完成廢氨氣的回收任務(wù)；

（2）回收液氨的初級提純：將上述含量＞98%的液氨由重力作用輸入氨氣蒸發(fā)器，經(jīng)20～30℃熱水加熱汽化為含水量＜100ppb?的氨氣，氨氣經(jīng)過二道能去除0.1um顆粒的不銹鋼除沫器，將氨氣中的顆粒物體擋在氨氣蒸發(fā)器內(nèi)，從氨氣蒸發(fā)器頂排出的純氨氣進(jìn)入初品精餾提純塔作為加料，進(jìn)行精餾提純，保持精餾提純塔塔頂、塔釜溫度在0～40℃范圍內(nèi)，壓力在0.5～1.6Mpa范圍內(nèi)，冷卻水溫度控制在-5～30℃范圍內(nèi)，塔頂輕組份的放空與回流量之比在1:30～50范圍內(nèi)，加料量與塔頂放空量之比在1:50～100范圍內(nèi)，在此操作條件下精餾分離，進(jìn)一步降低了原料中的輕組份、重組份、水份、金屬離子的含量，初品精餾提純塔塔頂冷凝器下方的高位槽中的液氨可達(dá)到大于99.9999%的超純氨初品含量，一部分進(jìn)入初品精餾提純塔，一部分進(jìn)入成品精餾提純塔，其比例為1：3～5，從而完成回收液氨的初級提純?nèi)蝿?wù)；

（3）成品提純：將上述大于99.9999%的超純氨初品由成品精餾提純塔進(jìn)行精餾提純，保持精餾提純塔塔頂、塔釜溫度在0～40℃范圍內(nèi)，壓力在0.5～1.6Mpa范圍內(nèi)，冷卻水溫度控制在-5～30℃范圍內(nèi)，塔頂輕組份的放空與回流量之比在1:30～50范圍內(nèi)，加料量與塔頂放空量之比在1:80～120范圍內(nèi)，在此操作條件下精餾分離，更進(jìn)一步降低了原料中的輕組份、重組份、水份、金屬離子的含量，在精餾塔中上部的產(chǎn)品出口可以生產(chǎn)出含量大于99.99999%的超純氨成品；成品精餾塔塔頂冷凝器下方的高位槽中的液氨可達(dá)到大于99.99999%的超純氨成品含量，一部分進(jìn)入成品精餾提純塔，一部分進(jìn)入成品接收罐，其比例為1：2～6，從而完成回收液氨的全部提純?nèi)蝿?wù)；

（4）成品液氨接收與汽化再利用：由上述提純的含量大于99.99999%的超純氨成品經(jīng)成品高位槽，由重力作用流入成品接收罐，成品接收罐的液氨成品由重力作用流入成品汽化器，汽化器經(jīng)20～30℃熱水加熱汽化為成品氨氣，成品氨氣經(jīng)減壓至0.1～0.2Mpa范圍內(nèi)供給MOCVD爐使用，完成了全部回收、提純、再利用過程。

2.如權(quán)利要求1所述的壓縮法回收LED制造中廢氨氣再利用的方法，其特征在于：所述的LED制造中排放的廢氨氣是用隔膜壓縮機(jī)負(fù)壓吸入，增壓壓出的。

3.如權(quán)利要求1所述的壓縮法回收LED制造中廢氨氣再利用的方法，其特征在于：所述的壓縮以后的廢氨氣是經(jīng)過冷凝器由冷卻水冷凝為液氨，從而回收廢氨氣。