[發明專利]可調濾波器以及非色散氣體探測器

有效

• 申請號: 201210480931.7
• 申請日: 2012-11-23
• 公開（公告）號: CN103048283A
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發明（設計）人: 姜利軍
• 申請（專利權）人: 姜利軍
• 主分類號: G01N21/31
• 分類號: G01N21/31;G01N21/35;G02B26/00
• 代理公司: 上海翼勝專利商標事務所(普通合伙) 31218
• 代理人: 孫佳胤

1.一種可調濾波器，包括相對設置的基底和蓋板，其特征在于：

所述基底的表面上設置一固定反射鏡，一可動反射鏡通過多個錨點設置于固定反射鏡表面且與固定反射鏡平行，所述可動反射鏡能夠向基底方向和蓋板方向兩個方向移動；

所述固定反射鏡和可動反射鏡對工作波段的光的反射率大于其余波段，所述基底和蓋板對工作波段的光的透射率大于其余波段；

所述固定反射鏡和可動反射鏡之間設置有第一限位部件，所述可動反射鏡和蓋板之間設置有第二限位部件。

2.根據權利要求1所述的可調濾波器，其特征在于，所述第一限位部件設置在固定反射鏡表面或者可動反射鏡表面。

3.根據權利要求1所述的可調濾波器，其特征在于，所述第二限位部件設置在可動反射鏡表面或者蓋板表面。

4.根據權利要求1所述的可調濾波器，其特征在于，所述第一限位部件和第二限位部件的位置沿著垂直于可動反射鏡的方向相互對準。

5.根據權利要求1所述的可調濾波器，其特征在于，所述第一限位部件和/或第二限位部件為閉合形狀。

6.根據權利要求1所述的可調濾波器，其特征在于，所述固定反射鏡和可動反射鏡由具有不同折射系數的兩種材料交替設置構成。

7.根據權利要求6所述的可調濾波器，其特征在于，所述兩種材料分別為多晶硅和二氧化硅。

8.一種非色散氣體探測器，包括輻射源、可調濾波器、氣室、以及探測器，輻射源發射的廣譜光輻射通過可調濾波器后變為窄帶輻射，經過氣室后若該波段的光處于待測氣體的特征吸收波段則被吸收衰減，再被探測器接收并輸出相應的電信號，其特征在于，所述可調濾波器為一權利要求1～7任意一項所述的可調濾波器，所述輻射源設置于可調濾波器的蓋板上，輻射光通過所述可動反射鏡以及固定反射鏡形成的腔體濾波后，從基底中出射。

9.根據權利要求8所述的非色散氣體探測器，其特征在于，所述蓋板在靠近可動反射鏡一側的表面具有一空腔；所述空腔表面覆蓋一絕熱膜，所述輻射源通過熱絕緣薄膜懸空設置于空腔的開口處。

10.根據權利要求8所述的非色散氣體探測器，其特征在于，進一步在基底背離所述固定反射鏡的表面上設置減反膜，以增加工作波段光輻射的透過率。

11.根據權利要求8所述的非色散氣體探測器，其特征在于，進一步在基底背離所述固定反射鏡的表面上設置一孔徑光闌，所述孔徑光闌沿著垂直于可動反射鏡的方向與所述可動反射鏡對準。

12.一種非色散氣體探測器，包括輻射源、氣室、可調濾波器、以及探測器，輻射源發射的廣譜光輻射通過氣室射入可調濾波器，氣室中的待測氣體僅吸收特征波長的光線，可調濾波器將所述特征吸收波長的光線濾出，經可調濾波器濾出的光線再被探測器接收并輸出相應的電信號，其特征在于，所述可調濾波器為一權利要求1～7任意一項所述的可調濾波器，所述探測器設置于可調濾波器的蓋板上，輻射光從基底中入射，并通過所述可動反射鏡以及固定反射鏡形成的腔體濾波后，被所述探測器吸收。

13.根據權利要求12所述的非色散氣體探測器，其特征在于，所述蓋板在靠近可動反射鏡一側的表面具有一空腔；所述空腔表面覆蓋一絕熱膜，所述探測器通過熱絕緣薄膜懸空設置于空腔的開口處。

14.根據權利要求12所述的非色散氣體探測器，其特征在于，進一步在基底背離所述固定反射鏡的表面上設置減反膜，以增加工作波段光輻射的透過率。

15.根據權利要求12所述的非色散氣體探測器，其特征在于，進一步在基底背離所述固定反射鏡的表面上設置一孔徑光闌，所述孔徑光闌沿著垂直于可動反射鏡的方向與所述可動反射鏡對準。