[發(fā)明專(zhuān)利]真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210480813.6
• 申請(qǐng)日: 2012-11-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103834926A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王叔暉;劉竹楊
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海法德機(jī)械設(shè)備有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/50
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/50
• 代理公司: 上海智信專(zhuān)利代理有限公司 31002
• 代理人: 胡美強(qiáng)

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及真空鍍膜領(lǐng)域，特別涉及一種真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)。

背景技術(shù)

工件的使用壽命主要取決于耐磨性和硬度，而真空鍍膜工藝是提高工件的耐磨性和硬度的常用方式。在真空鍍膜過(guò)程中，真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)發(fā)揮著重要的作用。

現(xiàn)有的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)通常包括電機(jī)、傳動(dòng)基座、真空室和載物臺(tái)，電機(jī)通過(guò)傳動(dòng)帶驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)基座中的驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)載物臺(tái)旋轉(zhuǎn)。

現(xiàn)有的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)存在以下問(wèn)題：第一、載物臺(tái)的厚度較大，由于載物臺(tái)包括轉(zhuǎn)盤(pán)和行星齒輪，轉(zhuǎn)盤(pán)和行星齒輪中的太陽(yáng)輪通過(guò)軸承相樞接，而現(xiàn)有的軸承的尺寸一般較大，因此載物臺(tái)的厚度無(wú)法進(jìn)一步縮小；第二、容易高溫變形，由于載物臺(tái)還包括軸承套和自轉(zhuǎn)軸，自轉(zhuǎn)軸與軸承套直接相樞接，工作時(shí)容易因高溫而變形，造成自轉(zhuǎn)軸和行星齒輪的行星輪卡死；第三、傳動(dòng)基座和載物臺(tái)難以拆卸并分離，由于傳動(dòng)基座和載物臺(tái)需要通過(guò)螺栓鎖死以保持持續(xù)通電。因此在分離載物臺(tái)和傳動(dòng)基座時(shí)，需要事先擰卸下該螺栓，使用過(guò)程十分不便；第四、載物臺(tái)的裝卸不便，裝卸時(shí)，需要將自轉(zhuǎn)軸準(zhǔn)確旋轉(zhuǎn)至固定位置，然后將載物臺(tái)裝配上或卸載下，存在準(zhǔn)確定位上的難題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)存在載物臺(tái)的厚度較大的缺陷，提供一種真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)，其載物臺(tái)具有厚度薄的優(yōu)點(diǎn)。

本發(fā)明是通過(guò)下述技術(shù)方案來(lái)解決上述技術(shù)問(wèn)題的：

一種真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)，其包括一載物臺(tái)，其特點(diǎn)在于，該載物臺(tái)包括一轉(zhuǎn)盤(pán)和一行星齒輪，該轉(zhuǎn)盤(pán)和該行星齒輪中的太陽(yáng)輪通過(guò)滾珠相樞接。

較佳的，該載物臺(tái)還包括多個(gè)軸承套，每一軸承套通過(guò)滾珠與一自轉(zhuǎn)軸相樞接。

較佳的，該載物臺(tái)還包括一中心轉(zhuǎn)軸，該真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)還包括一具有驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸的傳動(dòng)基座，該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸通過(guò)一金屬?gòu)椘c該中心轉(zhuǎn)軸電連接。

較佳的，該傳動(dòng)基座還包括一基座套，該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸與該基座套相樞接，該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸上設(shè)置有一檢測(cè)板，該基座套上設(shè)置有一檢測(cè)開(kāi)關(guān)，該檢測(cè)開(kāi)關(guān)和該檢測(cè)板用于檢測(cè)該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸相對(duì)于該基座套的轉(zhuǎn)動(dòng)圈數(shù)。

較佳的，該中心轉(zhuǎn)軸和該行星齒輪中的太陽(yáng)輪通過(guò)一陶瓷軸承相樞接。

較佳的，該真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)還包括一真空室，該真空室內(nèi)設(shè)置有兩個(gè)軌道，該載物臺(tái)上設(shè)置有兩列導(dǎo)輪，該些導(dǎo)輪用于沿著該些軌道滑滾運(yùn)動(dòng)。

本發(fā)明的積極進(jìn)步效果在于：

本發(fā)明提供了一種真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)。通過(guò)使用滾珠直接將該轉(zhuǎn)盤(pán)和該行星齒輪相樞接，該載物臺(tái)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單和輕薄的優(yōu)點(diǎn)。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明較佳實(shí)施例的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)的立體圖。

圖2為本發(fā)明較佳實(shí)施例的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)的剖視圖。

圖3為本發(fā)明較佳實(shí)施例的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)的局部剖視圖。

圖4為本發(fā)明較佳實(shí)施例的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)的局部示意圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明：

電機(jī)：1???????????????傳動(dòng)帶：2

傳動(dòng)基座：3???????????真空室：4

載物臺(tái)：5?????????????金屬?gòu)椘?

基座套：31????????????驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸：32

檢測(cè)板：33????????????檢測(cè)開(kāi)關(guān)：34

軌道：41????????????????限位板：42

中心轉(zhuǎn)軸：51????????????陶瓷軸承：52

轉(zhuǎn)盤(pán)：53????????????????高溫鋼珠：54

太陽(yáng)輪：55??????????????行星輪：56

自轉(zhuǎn)軸：57??????????????軸承套：58

高溫鋼珠：59????????????卡扣凸塊：320

石墨環(huán)：510?????????????托板：511

絕緣板：512?????????????導(dǎo)輪：513

卡扣槽514

具體實(shí)施方式

下面舉個(gè)較佳實(shí)施例，并結(jié)合附圖來(lái)更清楚完整地說(shuō)明本發(fā)明。

如圖1所示，本實(shí)施例的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)包括電機(jī)1、傳動(dòng)基座3、真空室4和載物臺(tái)5。該傳動(dòng)基座3包括基座套31和驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸32，該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸32與該基座套31相樞接。該載物臺(tái)5上設(shè)置有五個(gè)自轉(zhuǎn)軸57。