[發明專利]一種長尺寸檢測磁傳感器及其制作方法在審
| 申請號: | 201210480611.1 | 申請日: | 2012-11-23 |
| 公開(公告)號: | CN103839321A | 公開(公告)日: | 2014-06-04 |
| 發明(設計)人: | 時啟猛;劉樂杰;曲炳郡 | 申請(專利權)人: | 北京嘉岳同樂極電子有限公司 |
| 主分類號: | G07D7/04 | 分類號: | G07D7/04 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 100083 北京市海淀區*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 尺寸 檢測 傳感器 及其 制作方法 | ||
1.一種長尺寸檢測磁傳感器,包括至少一個檢測單元和支撐所述檢測單元的印制電路板,其特征在于,所述檢測單元包括M組芯片組,所述M組芯片組縱向并行排列設置,每組所述芯片組包括至少三片短磁傳感器芯片,而且,同一芯片組內的所述短磁傳感器芯片橫向順序排列,在同一所述芯片組內,相鄰兩個所述短磁傳感器芯片的磁感應膜橫向交叉設置并形成無縫排列,所述芯片組內和/或芯片組與芯片組之間的所述短磁傳感器芯片串聯或并聯成惠斯通電橋電路,其中,M為大于或等于2的整數。
2.根據權利要求1所述的長尺寸檢測磁傳感器,其特征在于,每組所述芯片組包括N片短磁傳感器芯片,每片所述短磁傳感器芯片包括兩條磁敏感膜,其中,第n-1片短磁傳感器芯片的第一條磁敏感膜的尾端與第n片短磁傳感器芯片內的第一條磁敏感膜的首端電連接,第n片短磁傳感器芯片內的第一條磁敏感膜的尾端與第n+1片短磁傳感器芯片內的第一條磁敏感膜的首端電連接,第n-1片短磁傳感器芯片的第二條磁敏感膜的尾端與第n片短磁傳感器芯片內的第二條磁敏感膜的首端電連接,第n片短磁傳感器芯片內的第二條磁敏感膜的尾端與第n+1片短磁傳感器芯片內的第二條磁敏感膜的首端電連接,而且,第n-1片短磁傳感器芯片的第一條磁敏感膜的首端接Vcc,第n-1片短磁傳感器芯片的第二條磁敏感膜的首端接地,第n+1片短磁傳感器芯片的第一條磁敏感膜的尾端與n+1片短磁傳感器芯片的第二條磁敏感膜的尾端電連接,并接Vout;2≤n的整數。
3.根據權利要求1所述的長尺寸檢測磁傳感器,其特征在于,每組所述芯片組包括M片短磁傳感器芯片,每片所述短磁傳感器芯片包括兩條磁敏感膜,其中,第m-1短磁傳感器芯片內的第一條磁敏感膜的首端、第m短磁傳感器芯片內的第一條磁敏感膜的首端和第m+1短磁傳感器芯片內的第一條磁敏感膜的首端電連接并共同接Vcc,第m-1短磁傳感器芯片內的第一條磁敏感膜的尾端、第m短磁傳感器芯片內的第一條磁敏感膜的尾端和第m+1短磁傳感器芯片內的第一條磁敏感膜的尾端交匯電連接形成公共節點A,第m-1短磁傳感器芯片內的第二條磁敏感膜的尾端、第m短磁傳感器芯片內的第二條磁敏感膜的尾端和第m+1短磁傳感器芯片內的第二條磁敏感膜的尾端交匯電連接形成公共節點B,公共節點A和公共節點B共同接Vout,第m-1短磁傳感器芯片內的第二條磁敏感膜的首端、第m短磁傳感器芯片內的第二條磁敏感膜的首端和第m+1短磁傳感器芯片內的第二條磁敏感膜的首端電連接并共同接地,2≤m的整數。
4.根據權利要求1所述的長尺寸檢測磁傳感器,其特征在于,所述短磁傳感器芯片的磁感應膜的長度小于或等于3.3mm。
5.根據權利要求1所述的長尺寸檢測磁傳感器,其特征在于,在同一所述芯片組內,所述短磁傳感器芯片相互平行設置并使得所述短磁傳感器芯片的磁感應膜位于同一平面內。
6.根據權利要求1所述的長尺寸檢測磁傳感器,其特征在于,每個檢測單元對應一個獨立輸出通道。
7.根據權利要求1所述的長尺寸檢測磁傳感器,其特征在于,所述短磁傳感器芯片包括至少兩條彼此平行且釘扎方向相同或相反的磁感應膜、焊盤以及導線,通過所述焊盤和導線將所述磁感應膜電連接形成惠斯通電橋電路。
8.根據權利要求7所述的長尺寸檢測磁傳感器,其特征在于,所述磁感應膜為巨磁阻磁感應膜、各向異性磁阻磁感應膜、隧穿效應磁阻磁感應膜、巨磁阻抗效應磁阻磁感應膜或霍爾效應膜。
9.根據權利要求7所述的長尺寸檢測磁傳感器,其特征在于,還包括焊針,所述焊針固定于所述印制電路板,并與所述印制電路板上的導電線路電連接。
10.根據權利要求1所述的長尺寸檢測磁傳感器,其特征在于,還包括屏蔽外殼,所述印制電路板設置于所述屏蔽外殼內,并使所述芯片組與設置在所述屏蔽外殼上的導磁孔相對。
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