[發明專利]一種搖擺式等離子體約束裝置

有效

• 申請號: 201210480393.1
• 申請日: 2012-11-23
• 公開（公告）號: CN103839745A
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發明（設計）人: 吳紫陽;文秉述;邱達燕
• 申請（專利權）人: 中微半導體設備（上海）有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 上海信好專利代理事務所(普通合伙) 31249
• 代理人: 張靜潔;姜銀鑫

1.一種搖擺式等離子體約束裝置（1），設置在等離子體刻蝕設備的反應腔（9）內，所述等離子體刻蝕設備通過靜電夾盤（41）上方設置的氣體噴頭（32）將氣體引入反應腔（9）內以形成該氣體的等離子體，其特征在于，所述搖擺式等離子體約束裝置（1）包括：設置在靜電夾盤（41）外圍到反應腔（9）的腔壁（2）之間的環狀支架（11），設置在環狀支架（11）上的多組擺動機構（12）；反應腔（9）內的等離子體（71）被運動的多組擺動機構（12）攪動而形成渦流，來清洗反應腔（9）。

2.如權利要求1所述的搖擺式等離子體約束裝置（1），其特征在于，每組所述擺動機構（12）還包含：葉片（13）和沿環狀支架（11）的徑向穿過所述葉片（13）的轉動軸（14）；其中所述的轉動軸（14）一端與環狀支架（11）靠近靜電夾盤（41）的一側連接，其另一端與環狀支架（11）靠近腔壁（2）的一側連接。

3.如權利要求1所述的搖擺式等離子體約束裝置（1），其特征在于，多組所述的擺動機構（12）與靜電夾盤（41）和反應腔（9）的腔壁（2）之間分別設有間隙，各擺動機構（12）有足夠的空間進行運動而不會碰撞到靜電夾盤（41）和腔壁（2）。

4.如權利要求2所述的搖擺式等離子體約束裝置（1），其特征在于，所述葉片（13）為弧形葉片；每組所述擺動機構（12）包含多片弧形葉片；該多片弧形葉片垂直于環狀支架（11）的徑向，并間隔排列組成扇環狀的葉片組（15），相鄰的弧形葉片之間形成間隙供氣體通過。

5.如權利要求4所述的搖擺式等離子體約束裝置（1），其特征在于，多組所述葉片組（15）均勻分布在環狀支架（11）的圓周上，相鄰的兩組擺動機構（12）之間設有間隙。

6.如權利要求4所述的搖擺式等離子體約束裝置（1），其特征在于，所述的葉片組（15）與轉動軸（14）活動連接，并在轉動軸（14）上沿環狀支架（11）的徑向來回擺動，不斷改變葉片組（15）中各個弧形葉片與轉動軸（14）之間的夾角。

7.如權利要求2所述的搖擺式等離子體約束裝置（1），其特征在于，每組所述擺動機構（12）包含一個葉片（13）；各個葉片（13）間隔設置在環狀支架（11）的圓周上，并沿環狀支架（11）的徑向放射狀排列；相鄰的葉片（13）之間形成間隙供氣體通過。

8.如權利要求7所述的搖擺式等離子體約束裝置（1），其特征在于，各個所述的葉片（13）分別繞各轉動軸（14）旋轉。

9.如權利要求7所述的搖擺式等離子體約束裝置（1），其特征在于，所述的多組擺動機構（12）與環狀支架（11）一起繞環狀支架（11）的中心旋轉。

10.?如權利要求1所述的搖擺式等離子體約束裝置（1），其特征在于，所述的搖擺式等離子體約束裝置（1）由金屬材料制成。