[發明專利]球形氣動找平機構

有效

• 申請號: 201210477925.6
• 申請日: 2012-11-22
• 公開（公告）號: CN103048886A
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發明（設計）人: 李霖;蒲繼祖;甄萬財
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十五研究所
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 北京中建聯合知識產權代理事務所 11004
• 代理人: 朱麗巖;劉湘舟

1.一種球形氣動找平機構，包括互為呈球形結構且上板2坐落在支座1球形凹面中的支座1與上板2，其特征在于：所述支座1的球形凹面上均布對稱設有若干個出氣口1’，所述每個出氣口1’上均通過螺釘固接一個與支座1球形凹面一致的節流蓋3，所述節流蓋3與支座1結合部之間設有密封膠圈5，所述節流蓋3上設有節流孔，所述節流蓋3的節流孔外側出口端處在所述支座1與上板2之間形成的空間處，內側入口端處在支座1內部設有的支座通氣道出口處，所述一個節流蓋3對應一條支座通氣道，所述支座1外部設有一個支座進氣嘴10，所述若干條支座通氣道的進氣端匯總與所述支座進氣嘴10連通，所述支座進氣嘴10與氣動系統的調速閥13的出口連接，所述調速閥13的進口通過串聯的兩個電磁閥16既與真空泵15管路連接，又通過減壓閥19與壓縮空氣泵14管路連接，所述節流蓋3與所述支座1之間形成的空間經過支座進氣嘴10通過兩個電磁閥16或者與壓縮空氣泵14連通或者與真空泵15連通；

所述上板2四個角部各設有一個吸盤4，所述每個吸盤4的氣孔下面均與設置在上板2內部的一條上板通氣道連通，四個上板通氣道的進口匯總與設置在上板2上的上板進氣嘴11連通，所述上板進氣嘴11通過一個電磁閥17與真空泵15管路連接，

所述上板2上面置有一個平板狀承片臺6，所述承片臺6上開有若干同心圓的環形槽，每個所述環形槽均互為聯通，所述互為聯通的環形槽下面通過承片臺6內部設置的承片臺通氣道與安裝在所述承片臺6上的承片臺進氣嘴12連通，所述承片臺進氣嘴12通過一個電磁閥18與真空泵15管路連接。

2.根據權利要求1所述的球形氣動找平機構，其特征在于：各條所述支座通氣道的長度相等，內徑相同。

3.根據權利要求1所述的球形氣動找平機構，其特征在于：所述節流蓋3的節流孔孔徑為0.5～1mm。

4.根據權利要求1或3所述的球形氣動找平機構，其特征在于：所述支座進氣嘴10前面經壓縮空氣泵14輸入的氣壓力為0.4MPa，支座進氣嘴10、上板進氣嘴11以及承片臺進氣嘴12前面經真空泵15制造的負壓為-0.08MPa。