[發明專利]雙電極放電腔的導流裝置及應用其的放電腔、準分子激光器

有效

• 申請號: 201210476797.3
• 申請日: 2012-11-21
• 公開（公告）號: CN102969645A
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 劉斌;丁金濱;王魁波;王宇;周翊;趙江山
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電研究院
• 主分類號: H01S3/03
• 分類號: H01S3/03;H01S3/08;H01S3/22
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 宋焰琴

1.一種放電腔的導流裝置，所述放電腔具有對稱的結構，且包括兩對電極，其特征在于，

該導流裝置包括兩個葉輪，該兩個葉輪分別對應所述兩對電極中的一對，其安裝位置關于所述放電腔的對稱面對稱，且位于所述電極的下方，其轉動軸平行于電極的軸向，所述電極的軸向平行于所述放電腔的底平面，并且

該兩個葉輪的轉動方向相反，轉速相同。

2.如權利要求1所述的放電腔的導流裝置，其特征在于，在所述每個葉輪下方分別安裝一個下阻流片，該下阻流片用于阻止氣流從葉輪下方通過。

3.如權利要求2所述的放電腔的導流裝置，其特征在于，所述下阻流片為斜面式或弧面式，即阻流片的迎風面設計成斜面或者弧面形式，弧面可以是內凹或外凸弧面，或者內凹與外凸弧面的結合。

4.如權利要求2所述的放電腔的導流裝置，其特征在于，從每對電極的下方安裝處往相對應的葉輪方向延伸出一個上阻流片。

5.如權利要求4所述的放電腔的導流裝置，其特征在于，在所述葉輪的側壁上安裝有導流板，或者將側壁表面直接加工成導流板的表面形狀，用于將葉輪出口的氣流導向所述電極的放電區域。

6.如權利要求4所述的放電腔的導流裝置，其特征在于，在所述導流板的末端與所述電極的上方之間安裝有一個上導流板，該上導流板與所述上阻流片構成一個漸縮型流道。

7.如權利要求4所述的放電腔的導流裝置，其特征在于，在所述兩個電極的放電區域的中間位置設置一個對稱的匯流導流片，用于將流經所述放電區域的氣流匯合成向下的氣流。

8.如權利要求4所述的放電腔的導流裝置，其特征在于，從所述每個電極的下向朝向相應的葉輪伸出一個下導流板，其呈現向葉輪方向彎曲的弧形。

9.一種雙電極放電腔，其特征在于，包括如權利要求1-8中任一項所述的導流裝置。

10.一種準分子激光器，其特征在于，包括如權利要求9所述的雙電極放電腔。