[發(fā)明專利]實現(xiàn)增強(qiáng)LED樣品光提取效率的三維類球形結(jié)構(gòu)及制備方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210475863.5
• 申請日: 2012-11-21
• 公開（公告）號: CN103840038A
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊海方;尹紅星;顧長志;祝傳瑞;劉哲;夏曉翔;劉寶利
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院物理研究所
• 主分類號: H01L33/00
• 分類號: H01L33/00;H01L33/22;G03F7/00;G03F7/20
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 梁愛榮

1.一種三維類球形結(jié)構(gòu)的制備方法，所述制備步驟包括：?

步驟S1：在需要做結(jié)構(gòu)的樣品上旋涂光刻膠，利用熱板或烘箱對樣品上的光刻膠進(jìn)行前烘，得到覆有光刻膠的樣品，烘烤的溫度由光刻膠的類型決定；?

步驟S2：根據(jù)所要制備的圖形尺寸及形狀并考慮鄰近效應(yīng)制備相應(yīng)的掩膜版；?

步驟S3：利用紫外光刻機(jī)和掩膜版，采用欠曝光的方法對覆有光刻膠的樣品進(jìn)行曝光，并對曝光后的樣品進(jìn)行顯影處理，得到曝光顯影后的樣品；?

步驟S4：選擇范圍為90℃-150℃的溫度，對曝光顯影后的樣品進(jìn)行熱流處理，形成三維的類球形形狀的光刻膠結(jié)構(gòu)；?

步驟S5：利用干法刻蝕方法對具有三維的類球形形狀光刻膠結(jié)構(gòu)的樣品進(jìn)行刻蝕，將三維的類球形形狀的光刻膠圖形轉(zhuǎn)移到樣品表面，得到表面含有殘膠的三維結(jié)構(gòu)樣品；?

步驟S6：用丙酮溶液或者去膠機(jī)去除步驟5得到的樣品表面的殘膠，即在樣品上得到三維類球形結(jié)構(gòu)。?

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述三維類球形結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述光刻膠是紫外光刻膠，在紫外光照下敏感，能實現(xiàn)紫外曝光圖案。?

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述三維類球形結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述樣品材料選擇能利用干法刻蝕方法進(jìn)行刻蝕的材料，所述樣品材料為硅基材料、III-V族材料、LED樣品、金屬材料、氧化物材料中的一種。?

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述三維類球形結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，掩模版是明場掩膜或是暗場掩膜，對掩模版尺寸及掩模版圖形的尺寸，對掩模版形狀及陣列排布沒有限制。?

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述三維類球形結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述欠曝光方法制備準(zhǔn)三維圖形，其曝光劑量是小于使光刻膠完全曝透的劑量，從而得到邊壁不陡直的光刻膠圖形。?

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述三維類球形結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，熱流溫度為略高于光刻膠玻璃化溫度，熱流時間以形成平滑的圓弧形結(jié)構(gòu)為宜。?

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述三維類球形結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述將光刻膠圖形轉(zhuǎn)移到樣品的刻蝕，應(yīng)該對光刻膠和樣品均有刻蝕效果；所述的干法刻蝕是反應(yīng)離子刻蝕、感應(yīng)耦合等離子體刻蝕、離子束刻蝕中的一種。?

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述三維類球形結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述三維類球形結(jié)構(gòu)是凸球結(jié)構(gòu)、凹球結(jié)構(gòu)、碗型結(jié)構(gòu)中的一種。?

9.一種實現(xiàn)增強(qiáng)LED樣品光提取效率的三維類球形結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述三維類球形結(jié)構(gòu)制備在LED的樣品上，所述LED的樣品是正裝LED樣品、倒裝LED樣品及LED襯底樣品。?