[發(fā)明專(zhuān)利]一種多路水冷溫度控制系統(tǒng)及控制方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210475503.5
• 申請(qǐng)日: 2012-11-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103838274A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 樊瑞英;李洋
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G05D23/30
• 分類(lèi)號(hào): G05D23/30
• 代理公司: 北京連和連知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11278
• 代理人: 王光輝

1.一種多路水冷溫度控制系統(tǒng)，用于精確控制多個(gè)被控對(duì)象的溫度，其特征在于，所述多路水冷溫度控制系統(tǒng)包括：

溫度控制單元，用于提供溫度精確受控的循環(huán)液，具有對(duì)循環(huán)液的泵送、加熱、制冷和精確控制出口循環(huán)液溫度的控制功能；

分流器，與所述溫度控制單元連接，可根據(jù)多個(gè)對(duì)象的流量需求將所述循環(huán)液分為多個(gè)支路；

支路水溫調(diào)節(jié)裝置，與所述分流器連接，用于調(diào)節(jié)各個(gè)被控對(duì)象所對(duì)應(yīng)支路的循環(huán)液溫度，具有對(duì)循環(huán)液的加熱調(diào)節(jié)及混合功能，并且能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)加熱功率的精確輸出；

集流器，與所述溫度控制單元連接，用于將多個(gè)支路的循環(huán)液合并為一路并輸入所述溫度控制單元；

水冷溫度傳感器，采集各個(gè)對(duì)象相應(yīng)支路的入口水溫；

對(duì)象溫度傳感器，采集各個(gè)被控對(duì)象的溫度；?

測(cè)量模塊，向水冷溫度傳感器及對(duì)象溫度傳感器輸出激勵(lì)，對(duì)傳感器測(cè)量信號(hào)進(jìn)行轉(zhuǎn)換；

控制模塊，根據(jù)測(cè)量模塊測(cè)得的測(cè)量值，通過(guò)控制算法，驅(qū)動(dòng)溫度控制單元和各個(gè)支路水溫調(diào)節(jié)裝置工作。

2.如權(quán)利要求1所述的多路水冷溫度控制系統(tǒng)，其特征在于在每個(gè)支路裝有流量調(diào)節(jié)閥，可調(diào)節(jié)各個(gè)被控對(duì)象的循環(huán)液流量。

3.如權(quán)利要求1所述的多路水冷溫度控制系統(tǒng)，其特征在于，所述支路水溫調(diào)節(jié)裝置包括混合水箱和加熱器，加熱器可通過(guò)加熱周期和占空比來(lái)調(diào)節(jié)加熱功率。

4.一種采用如權(quán)利要求1所述的多路水冷溫度控制系統(tǒng)的控制方法，其特征在于其中包括通過(guò)控制各個(gè)支路的水溫調(diào)節(jié)裝置來(lái)控制各個(gè)支路的水溫的步驟。

5.如權(quán)利要求4所述的多路水冷溫度控制方法，其特征在于，采用串級(jí)反饋控制方法控制支路水溫調(diào)節(jié)裝置。

6.如權(quán)利要求5所述的多路水冷溫度控制方法，其特征在于，所述串級(jí)反饋控制方法包括：

a.根據(jù)被控對(duì)象的溫度設(shè)定值Tobja_SV和實(shí)際測(cè)量值Tobja_PV來(lái)計(jì)算偏差值Tobja_err；

b.根據(jù)Tobja_err計(jì)算所述被控對(duì)象所對(duì)應(yīng)的水冷入口的溫度設(shè)定值Twater1_SV；

c.根據(jù)所述溫度設(shè)定值Twater1_SV和水冷溫度實(shí)際測(cè)量值Twater1_PV來(lái)計(jì)算偏差值Twater1_err；

d.根據(jù)Twater1_err計(jì)算被控對(duì)象所對(duì)應(yīng)的支路水溫調(diào)節(jié)裝置的加熱輸出信號(hào)；

e.根據(jù)所述加熱輸出信號(hào)控制所述溫度調(diào)節(jié)模塊。

7.如權(quán)利要求6所述的多路水冷溫度控制方法，其特征在于，所述步驟b及d均采用PID算法計(jì)算。