[發(fā)明專利]基于微柱透鏡陣列的哈特曼波前傳感器

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210472792.3
• 申請(qǐng)日: 2012-11-20
• 公開（公告）號(hào): CN102914373A
• 公開（公告）日: 2013-02-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊曉蘋;史光遠(yuǎn);馬華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津理工大學(xué)
• 主分類號(hào): G01J9/00
• 分類號(hào): G01J9/00
• 代理公司: 天津佳盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 12002
• 代理人: 侯力

1.一種基于微柱透鏡陣列的哈特曼波前傳感器，包括光學(xué)匹配系統(tǒng)(1)、第一微柱透鏡陣列(3)和第二微柱透鏡陣列(5)、分光鏡(2)、第一光電探測器(4)和第二光電探測器(6)；其特征在于光學(xué)匹配系統(tǒng)(1)之后添加一個(gè)分光鏡(2)，在分光鏡(2)的透射端放置第一微柱透鏡陣列(3)和第一光電探測器(4)，在分光鏡(2)的反射端放置第二微柱透鏡陣列(5)和第二光電探測器(6)；所述的光學(xué)匹配系統(tǒng)(1)對(duì)入射光波進(jìn)行擴(kuò)束，使入射光波的尺寸匹配微柱透鏡陣列的通光孔徑；所述的微柱透鏡陣列實(shí)現(xiàn)波前孔徑分割；所述的分光鏡(2)將入射光波分為兩束，一束經(jīng)過第一微柱透鏡陣列(3)后形成聚焦線斑陣列，聚焦線斑陣列被位于第一微柱透鏡(3)焦平面處的第一光電探測器(4)采集；另一束經(jīng)過第二微柱透鏡陣列(5)后形成聚焦線斑陣列，聚焦線斑陣列被位于第二微柱透鏡(5)焦平面處的第二光電探測器(6)采集。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于微柱透鏡陣列的哈特曼波前傳感器，其特征在于所述的光學(xué)匹配系統(tǒng)(1)放置于分光鏡(2)的前端，分光鏡(2)將擴(kuò)束后的入射光波分為兩束，其中透射光到第一微柱透鏡陣列的光程與反射光到第二微柱透鏡陣列的光程相等。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于微柱透鏡陣列的哈特曼波前傳感器，其特征在于所述的第二微柱透鏡陣列(5)和第一微柱透鏡陣列(3)的通光口徑、子透鏡的大小、曲率半徑、厚度、材料和數(shù)量完全相同，但與第一微柱透鏡陣列(3)放置位置相互垂直。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于微柱透鏡陣列的哈特曼波前傳感器，其特征在于所述的第二微柱透鏡陣列(5)和第一微柱透鏡陣列(3)通光孔徑內(nèi)的子透鏡數(shù)量決定哈特曼波前傳感器的精度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的基于微柱透鏡陣列的哈特曼波前傳感器，其特征在于微柱透鏡陣列通光孔徑內(nèi)的子透鏡數(shù)量行列數(shù)均大于10。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的基于微柱透鏡陣列的哈特曼波前傳感器，其特征在于所述的第一光電探測器(4)和第二光電探測器(6)采用CCD探測器、CMOS探測器，或者是四象限傳感器陣列。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的基于微柱透鏡陣列的哈特曼波前傳感器，其特征在于所述的分光鏡(2)采用平面分光鏡，或者是分光棱鏡。