[發明專利]一種電極位于同一面的石英晶體振子

無效

• 申請號: 201210471485.3
• 申請日: 2012-11-20
• 公開（公告）號: CN103023455A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 俞宏;崔學晨;王保民;張利群;孫憲光
• 申請（專利權）人: 崔學晨
• 主分類號: H03H9/19
• 分類號: H03H9/19;G01G3/16
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種電極位于同一面的石英晶體振子，屬于電子元器件技術領域。用于石英晶體振蕩器和石英晶體微天平傳感器等。

背景技術

石英晶體振子可以作為檢測微量物質的傳感器，利用石英晶體振子的頻率變化與晶體表面的質量變化成正比的原理，可檢測電極表面ng級的質量變化及溶液的粘度、密度、修飾膜粘彈性等參數的變化，具有靈敏度高，可以實時測量等特點，可作為在線跟蹤監測微觀過程變化的手段，在現代化學、材料科學、生物學和醫學等方面開展微觀過程和作用機理的探索研究，在很多應用領域呈現出良好的發展前景。石英晶體振蕩器的核心部件是石英晶體振子，它包括石英晶體片本體以及石英晶體片表面的鍍膜層，鍍膜層通常為優良的導電體，以作為電極。一般地，作為電極的鍍膜層分別設置在石英晶體片的兩面，加電時以厚度切向方式激勵振蕩。美國專利US7075216B1公開了一種“側場激勵聲波傳感器”（Lateral?field?excited?acoustic?wave?sensor）其特征是在石英晶體片表面鍍有兩個以對稱的半圓形金屬膜作為電極，此設計起動振蕩困難，有電極的一面不易作為檢測工作面，且靈敏度較低。

發明內容

針對上述現有技術的不足，本發明提供一種電極位于同一面的石英晶體振子，可簡化制作工藝，提高檢測靈敏度，使用靈活方便。

為實現上述技術目的，本發明采取以下技術方案：一種電極位于同一面的石英晶體振子，包括石英晶體片本體以及石英晶體片表面的電極，其特征是，它的兩個電極設置在石英晶體片的同一面，其中一個電極位于該面的中心，為圓形并向邊緣伸出引線，另一個電極為開口環形環繞于前述電極的周圍并向邊緣伸出引線，兩個電極電絕緣，所述電極以優良導電體為材料。石英晶振片的無電極的一面，可以根據需要制作成為不同的檢測工作面。

本發明的有益效果是，石英晶體振子的一對電極板設置在晶體的同一側，制造時可以一次性完成單面鍍膜，不需雙面鍍膜，簡化了制作工藝。其背面作為傳感器的檢測工作面，可根據需要選擇不同的鍍膜或進行特殊的表面制備，并且諧振電路電極與傳感器的檢測工作面電分離，?排除了該電極在其它用途時對諧振電路電極的影響。此種電極的設置方式使傳感器的檢測工作面的質量靈敏度提高1—2倍?，并使石英晶體振子的應用領域更為廣闊。

附圖說明

圖1—圖6為本發明實施例1的結構示意圖，圖中所示石英晶體振子的背面設置鍍膜。圖7—圖12為本發明實施例2的結構示意圖，圖中所示石英晶體振子的背面不設置鍍膜。

具體實施方式

實施例1、如圖1—圖6所示，一種電極位于同一面的石英晶體振子，包括石英晶體片本體以及石英晶體片表面的電極，它的兩個電極設置在石英晶體片的同一面，其中一個電極位于該面的中心，為圓形并向邊緣伸出引線，另一個電極為開口環形位于前述電極的周圍，兩個電極電絕緣，所述電極以優良導電體為材料，如金或銀。石英晶體振子的無電極的一面，設置金屬鍍膜，作為檢測工作面。

實施例2、如圖7—圖12，一種電極位于同一面的石英晶振片，包括石英晶體片本體以及石英晶體片表面的電極,?它的兩個電極設置在石英晶體片的同一面，其中一個電極位于該面的中心，為圓形并向邊緣伸出引線，另一個電極為開口環形位于前述電極的周圍，兩個電極電絕緣，所述電極以優良導電體為材料，如金或銀。石英晶體振子的無電極一面，不設置金屬鍍膜。