[發明專利]成像光學系統

在審

• 申請號: 201210469736.4
• 申請日: 2009-08-26
• 公開（公告）號: CN102937742A
• 公開（公告）日: 2013-02-20
• 發明（設計）人: 漢斯-于爾根.曼;阿明.舍帕克;約翰尼斯.澤爾納
• 申請（專利權）人: 卡爾蔡司SMT有限責任公司
• 主分類號: G02B17/06
• 分類號: G02B17/06;G02B26/06;G03F7/20
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 邱軍

本申請是申請日為2009年8月26日且發明名稱為“成像光學系統”的中國專利申請No.200980135379.4的分案申請。

技術領域

本發明涉及具有多個反射鏡的成像光學系統，其將物平面中的物場成像到像平面中的像場。

背景技術

由EP?1093021A2和WO?2006/069725A1已知此類型的成像光學系統。由US?2007/0035814A1、US?7,186,983B2、US?2007/0233112A1以及WO2006/037651A1已知另外的成像光學系統。由US?6,172,825B1已知一種成像光學系統，其中所示的成像光學系統的入射光瞳面的位置由孔徑光闌（aperture?diaphragm）或光圈（stop）（AS）的位置產生。

發明內容

本發明的目的是提供一種開頭所述類型的成像光學系統，使得照明系統（其構件為成像光學系統）的傳輸損耗維持盡可能低。

根據本發明通過一種開頭所述類型的成像光學系統實現此目的，其中在垂直于物平面并穿過最緊鄰物場的反射鏡的幾何中心點的連接軸上，最緊鄰物場的反射鏡被布置成與物場間隔一間距，該間距大于成像光學系統的入射光瞳面離物場的間距，所述光瞳面位于物場上游的成像光的光束路徑中。

根據本發明通過具有多個反射鏡的成像光學系統另外實現此目的，該成像光學系統將物平面中的物場成像到像平面中的像場，其中：

-具有入射光瞳面，其位于物場上游的成像光的光束路徑中，其中成像光在物平面上被反射；

-具有連接軸，其垂直于物平面并延伸通過入射光瞳的幾何中心點；

-其中連接軸與入射光瞳面的交叉點比中心物場點的主光束與連接軸的第一交叉點更靠近物平面，第一交叉點位于物場下游的成像光的光束路徑中；

-其中反射鏡的至少一個具有通路開口，以使成像光通過。

在此類型的成像光學系統中，當使用被成像的反射物時，光學構件可被布置在連接軸上的物場的上游的光束路徑中。結果，布置于成像光學系統上游的光束路徑中的光學照明系統的照明物場所需的構件數目可被減少，因此照射光的總損耗被較小。

本發明的另一目的是提供一種開頭所述類型的成像光學系統，使得鄰近場的反射鏡的變形盡可能小地影響成像光學系統的成像性能。

根據本發明通過開始所述類型的成像光學系統實現此目的，成像光學系統具有與第一反射鏡間隔開的另一可變形反射鏡，第一反射鏡最緊鄰兩個場中的一個且稱為相鄰反射鏡（neighboring?mirror），另一可變形反射鏡被布置于與成像光學系統中的相鄰反射鏡的布置平面光學共軛的平面中。成像光學系統的相對于彼此光學共軛的平面的示例為成像光學系統的場平面或成像光學系統的光瞳面。關于成像光束的光束形式及角度分布彼此對應的所有平面為相對于彼此光學共軛的平面。

根據本發明，認識到相鄰反射鏡的變形（deformation）對成像光學系統的性質造成不希望的改變，而在相對于相鄰反射鏡的光學共軛平面中的可變形反射鏡（deformable?mirror）由于變形對成像性質的改變具有良好的補償。在此情況下，可能由多種原因引起的相鄰反射鏡的變形可被補償。相鄰反射鏡由于其自身重量引起的變形（換句話說，重力變形）可被補償。通過布置于光學共軛平面中的其他反射鏡也可補償相鄰反射鏡的變形，這些變形是由相鄰反射鏡的振動產生。在此情況下，可變形反射鏡可裝配有驅動元件，其容許與相鄰反射鏡的振動同步的變形。例如，可變形反射鏡在對應于相鄰反射鏡的振動帶寬的帶寬是可驅動的?？勺冃畏瓷溏R的可用于此的驅動元件的示例在US?7,443,619B2被描述。這里公開的用于反射鏡的反射面的變形的驅動元件可在一帶寬工作，該帶寬如此高以至于可因此補償由相鄰反射鏡的振動引發的變形。具體地，可使用洛倫茲（Lorentz）驅動器。借助于布置于光學共軛平面中的可變形反射鏡也可補償相鄰反射鏡的熱變形。

本發明的另一目的是提供一種開頭所述類型的成像光學系統，使得可使場相鄰反射鏡（field?adjacent?mirror）的反射面與相鄰場間隔盡可能小的間距。

根據本發明通過開頭所述類型的成像光學系統實現此目的，其中最緊鄰兩個場中的一個且稱為相鄰反射鏡的反射鏡的支撐體由其彈性模量（modulus?of?elasticity）為其他反射鏡的至少一個的支撐體材料的彈性模量的至少兩倍大的材料形成。